Gebraucht AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9146304 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9146304
Wafergröße: 5"-8"
Rapid thermal processor annealing systems, 5"-8"
Includes:
Process chamber: Two high-intensity tungsten halogen lamp arrays
STD Bus for real-time operation
Quartz isolation tube
Robot / Robot controller
Gas control electronics
ULPA Filtration system
Graphic user interface (GUI) computer system
Electronics
Mass-flow-controlled gas handling
Cooling
ULPA Filtration
Mechanical assemblies
Applications:
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Wafer handling: Automatic serial processing
Standard cassettes
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate:
Programmable
Range: 1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate:
Programmable
Temperature
Radiation dependent
Range: 1 – 180°C Per second
Maximum: 150°C per second
Steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy: +3°C to -7°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 3°C
Temperature uniformity: + 5°C
Includes: Manuals.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 ist ein schneller thermischer Prozessor, der für eine effiziente und genaue thermische Verarbeitung entwickelt wurde. Es eignet sich für eine breite Palette von thermischen Anwendungen, einschließlich der schnellen thermischen Verarbeitung von Halbleitersubstraten, dünnen Schichten, Optoelektronik und MEMS-Bauelementen. Die 8108 ist eine voll ausgestattete schnelle thermische Prozessor, bietet einen Temperaturbereich von 50 ° C bis 1200 ° C und eine Gleichmäßigkeit der Temperatur über die Probe von ± 50 ° C, sowie schnelle thermische Zykluszeiten von 30 Sekunden bis 6 Minuten. Das 8108 ist mit AG ASSOCIATES IPM-6000 Thermal Processor Control System ausgestattet und bietet eine präzise Temperaturregelung und Unterstützung für mehrere Substrattypen und -größen. Das IPM-6000 bietet eine intuitive Benutzeroberfläche und programmierbare thermische Profile, so dass Anwender schnell und einfach benutzerdefinierte thermische Prozesse erstellen können. Es verfügt auch über eine Reihe von optionalen Zubehör, einschließlich Heizelement Temperaturüberwachungen, Kurzstrecken-Infrarot-Sensoren, Hochtemperatur-Pyrometer und Pyrographie-Module. Der 8108 verfügt über ein Metallhalogenid-Beleuchtungssystem, mit dem Prozesse in Echtzeit überwacht werden können. Eine hochbelastbare, korrosionsbeständige Edelstahlkammer ist ebenfalls enthalten, die eine Oxidation und mögliche Kontamination der Proben verhindert. Die Kammer verfügt auch über geschlitzte Regale entworfen, um die thermische Gleichmäßigkeit zu optimieren. Der 8108 wurde entwickelt, um eine Vielzahl von thermischen Verarbeitungsanforderungen zu erfüllen und eine schnelle, effiziente und genaue thermische Verarbeitung zu gewährleisten. Es ist eine ideale Wahl für Anwendungen in der Halbleiterforschung, Dünnschichtabscheidung, MEMS-Geräteherstellung und Elektronikverpackung. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und dem benutzerfreundlichen Design ist AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108 ein ideales Werkzeug für eine Vielzahl von thermischen Verarbeitungsanwendungen.
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