Gebraucht BOC EDWARDS Helios-S #9203027 zu verkaufen

ID: 9203027
Weinlese: 2002
Gas abatement scrubber system 2002 vintage.
BOC EDWARDS Helios-S ist ein schneller thermischer Prozessor, der für den Einsatz in der Halbleiterindustrie konzipiert ist. Es ist eines der fortschrittlichsten RTP-Systeme (Rapid Thermal Processing) auf dem Markt und eignet sich ideal für Anwendungen, die eine präzise Temperaturregelung und eine gleichmäßige Wärmeverteilung erfordern. Helios-S verwendet fortschrittliche Steuerungssoftware, um eine präzise Temperaturregelung während jedes Zyklus zu gewährleisten. Es kann bis zu drei Temperatursollpunkte pro Zyklus bereitstellen und mit seinem eingebauten PID-Controller Temperaturen von 30℃ bis 1250℃ genau überwachen und steuern. Das Gerät ist außerdem mit einem Zwei-Pellistor-Sensorsystem und einem Mehrkanalausgang für die thermische Abbildung ausgestattet. Darüber hinaus verfügt es über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, die gefährliche Überhitzungsszenarien verhindern. Dazu gehören Dinge wie eine Übertemperatur und eine Überstrom-Abschaltautomatik. Die Maschine besteht aus zwei Komponenten; die Hauptkammer und das Heizwerkzeug. Die Hauptkammer ist mit einer Quarzwand ausgebildet, die insgesamt vier Heizzonen und eine integrierte Gasförderanlage aufweist. Das Heizmodell besteht aus drei abgedichteten Halogenlampen, die in der Kammer gleichmäßig Wärme verteilen. Dadurch wird eine gleichmäßige Temperatur über die gesamte Oberfläche des zu bearbeitenden Substrats gewährleistet. Die fortschrittliche Programmierbarkeit und das Spektrum an thermischen Profilen führen dazu, dass es für Prozesse wie Oxidation, Diffusion, Abscheidung, Ätzen und Implantation verwendet werden kann. Darüber hinaus ermöglicht das mitgelieferte Scansystem eine präzise Ausrichtung, um sicherzustellen, dass Prozesse genau dort ablaufen, wo Sie sie haben möchten. Alles in allem ist BOC EDWARDS Helios-S ein unglaublich leistungsstarker und hochgenauer Schnellwärmeprozessor. Es bietet eine beispiellose Temperaturregelung, eine einheitliche Wärmeverteilung und eine reduzierte Zykluszeit, was es zur idealen Wahl für Unternehmen macht, die qualitativ hochwertige und leistungsstarke Halbleiterbauelemente produzieren möchten.
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