Gebraucht DNS / DAINIPPON LA-3000F #9009841 zu verkaufen

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DNS / DAINIPPON LA-3000F
Verkauft
ID: 9009841
Wafergröße: 12"
Lamp anneal system, 12".
DNS/DAINIPPON LA-3000F ist ein fortschrittlicher schneller thermischer Prozessor, der für die schnelle und kostengünstige thermische Verarbeitung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es ist mit einer keramischen E-Beam-Quelle, fortschrittlicher Temperaturregelung und präziser Temperaturgleichförmigkeit über die gesamte Waferoberfläche ausgestattet. Die in der DNS- LA-3000F verwendete Elektronikstrahlquelle (E-Beam) ist für die Hochgeschwindigkeitsverarbeitung mit niedriger Drift- und Sichtlinienbeleuchtung ausgelegt. Außerdem verfügt das Gerät über eine Quarzlichtfalle und eine Enthalpie-Waagkammer für verbesserte Temperaturgleichförmigkeit und Zuverlässigkeit. Es verwendet leistungsfähigere Heizelemente und eine größere Kammer als die meisten anderen schnellen thermischen Prozessoren. Dies führt zu einer schnellen Temperaturanstiegsgeschwindigkeit und einem schnellen Wärmeübergang zur gleichmäßigen Erwärmung über die gesamte Waferoberfläche. DAINIPPON LA-3000F ist mit einem fortschrittlichen Temperaturregler ausgestattet, der eine präzise Temperaturregelung von 50 ° C bis 1100 ° C in Schritten von 0,1 ° C bietet. Es ist außerdem mit einem hochgenauen Gleichförmigkeitssensor ausgestattet, der die Temperatur über die gesamte Waferoberfläche in Echtzeit überwacht und die Temperatur entsprechend einstellt. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Erwärmung und Kühlung des Wafers innerhalb einer gewissen Toleranz. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen schnellen Kartenrekorder, der Temperaturen in bis zu einer Sekunde Intervallen aufzeichnen kann. LA-3000F umfasst eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, die einen zuverlässigen und effizienten Betrieb gewährleisten. Seine Quarzlichtfalle und Enthalpie-Balance-Kammer beseitigen Streufotonen und thermische Ungleichgewichte, die durch den E-Strahl erzeugt werden. Es verfügt auch über ein automatisches Wiederherstellungssystem, das Rezepte wiederherstellt, die während der Verarbeitung unterbrochen werden. Schließlich sorgt sein keramischer Waferträger für eine genaue Waferausrichtung, während das Quarzfenster für Explosionssicherheit sorgt. DNS/DAINIPPON LA-3000F ist ein ideales Gerät für die schnelle thermische Verarbeitung von Halbleiterscheiben und ist ein wesentlicher Bestandteil vieler fortschrittlicher Fertigungsanlagen. Es bietet präzise Temperaturregelung, schnelle Wärmeübertragung, erweiterte Sicherheitsfunktionen und verbesserte Gleichmäßigkeit für optimierte Leistung. Es ist eine ideale Wahl für eine schnelle, kostengünstige thermische Verarbeitung.
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