Gebraucht STEAG / MATTSON / AST 2800 #9137937 zu verkaufen

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ID: 9137937
Wafergröße: 8"
Rapid thermal annealers, 8" SMIF.
STEAG/MATTSON/AST 2800 ist ein Rapid Thermal Processor (RTP) zur schnellen, gleichmäßigen Erwärmung und Kühlung von Halbleiterscheiben. Diese Ausrüstung ist ein sehr vielseitiges und effektives thermisches Werkzeug für eine Vielzahl von Temperaturerfassungs- und Steuerungsoperationen und eignet sich daher ideal für Forschungs- und Produktionsanwendungen. AST 2800 verfügt über ein zuverlässiges und genaues Doppelkammerdesign mit 25 cm x 25 cm Prozessfläche pro Kammer. Diese Erweiterung des verfügbaren Platzes ermöglicht es Benutzern, mehrere Substrate zu stapeln, was den Durchsatz und die Produktivität erheblich erhöht. Zusätzlich umhüllt ein Schutzgas-Strömungssystem den Prozessbereich, wodurch eine Verschmutzung der Halbleitermaterialien verhindert wird. Der hohe Durchsatz wird durch die kurzen thermischen Zykluszeiten, die typischerweise Temperaturen von bis zu 1200 ° C in Sekundenbruchteilen erreichen können, weiter erhöht. Die hochgenaue Temperatur- und Prozessregelung ist ein Vorteil von STEAG AST2800. Dies ist möglich durch die fortschrittliche PID-basierte Steuereinheit, die den Sollwert, die Verweilzeiten, die Rampengeschwindigkeit und die maximale Temperatur manipulieren kann. Zusätzlich zu diesen Parametern umfasst die Maschine eine fortschrittliche Low-Flow-Logik zur Optimierung von Prozessanwendungen. Dies trägt zur weiteren maximalen Temperaturregelung und Werkzeuggenauigkeit bei. Die präzise Temperaturregelung und schnelle thermische Zykluszeiten sind Eigenschaften, die AST AST2800 die ideale Wahl für technologisch komplexe Hardware- und Prozessabläufe machen. Die Zuverlässigkeit, Genauigkeit und Effizienz von 2800 macht es zur idealen Wahl für unternehmenskritische Prozesse. Die Graphit-Suszeptor-Heizelemente und die proprietäre Direktkühlung reduzieren die Fehlerchancen erheblich, was zu zuverlässigeren Halbleitermaterialien führt. Die Aufheizprotokolle ermöglichen es Benutzern auch, ihre eigenen spezifischen Heiz- und Kühleigenschaften einzugeben, wodurch hochgenaue Verarbeitungsvorgänge gewährleistet werden, die das thermische Zyklus und die Gleichmäßigkeit optimieren. Abschließend ist MATTSON 2800 ein zuverlässiger, präziser und effizienter Schnellwärmeprozessor, der es zum idealen Werkzeug für High-Tech-Prozessanwendungen macht. Dieses Modell bietet eine Inertgasströmungseinrichtung zum Schutz während des thermischen Zyklus sowie eine Doppelkammer-Konstruktion mit 25 cm x 25 cm Prozessfläche pro Kammer, die einen erhöhten Durchsatz ermöglicht. Das fortschrittliche PID-basierte Steuerungssystem ermöglicht es Benutzern, spezifische Heiz- und Kühlparameter zur präzisen Steuerung einzugeben, während die proprietären Aufheizprotokolle das thermische Zyklus optimieren. All diese Eigenschaften machen MATTSON AST2800 zu einem unverzichtbaren Werkzeug für eine zuverlässige und genaue thermische Verarbeitung.
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