Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SA0150LP #181495 zu verkaufen

TEL WAVERMASTERS TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SA0150LP ist ein schneller thermischer Prozessor zur Durchsiliziumherstellung (TSV) sowie andere komplexe Anwendungen in der Halbleiterverarbeitung. Es wird zum Glühen und schnellen thermischen Glühen (RTA) von engen Metalllinien verwendet, um ultradünne Verbindungen zu schaffen und sie strategisch auf der Oberfläche eines Produkts zu verteilen. Dieser Prozessor ist wesentlich für die Erstellung der fortschrittlichsten integrierten Schaltungskomponenten, da er die Änderung von TSV-Layouts und die gleichmäßige Wärmeeinleitung über einen gesamten Wafer ermöglicht. In Bezug auf seine Spezifikationen hat WAFERMASTERS WAVERMASTERS TEL SA0150LP Rapid Thermal Processor eine offene Plattformarchitektur, die Flexibilität und Optimierung des Durchsatzes ermöglicht. Es ist mit zwei unabhängig voneinander gesteuerten beheizten Stufen ausgestattet, die 300mm (12 Zoll) Wafersubstrate in weniger als 2 Minuten bis zu 1.000 ° C heizen können. Eine Wafertemperaturgenauigkeit von +/-2 ° C ist in weniger als 90 Sekunden erreichbar. Es ist auch darauf ausgelegt, seine Kühlrate zu maximieren, um die Arbeitstemperaturen in einem optimalen Bereich zu halten, um Schäden an den empfindlichen Strukturen auf der Oberfläche des Wafers zu verhindern. Mit diesem Gerät können je nach erforderlichem Prozess bis zu 250 Wafer pro Stunde verarbeitet werden. Sie eignet sich besonders für fortschrittliche Prozessanforderungen wie Metalle, Dielektrika und Intermetalliken, aufgrund ihrer Raffinesse und ihrer Funktionalitäten. Der Anwender hat Zugang zu bis zu 16 hochpräzisen Gasabgabestellen, die den präzisen Einsatz von Chemikalien für eine breite Palette von Prozesstechnologien ermöglichen. TOKYO ELECTRON WAVERMASTERS WAFERMASTERS SA0150LP schnelle thermische Prozessor ist mit einer breiten Palette von Sicherheits- und Schutzfunktionen ausgestattet, einschließlich optischer Pyrometer, die Benutzer eine Echtzeit-visuelle Ablesung der Substrattemperatur geben, sowie mehrere Schichten von Interlocks, die sicherstellen, dass alle Sicherheitsbedingungen erfüllt werden, bevor die Verarbeitung beginne. Darüber hinaus soll die Software sicherstellen, dass der Wafer die optimalen Temperaturparameter nie überschreitet, was Überbearbeitung, Fehler und andere Risiken verhindert. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS WAVERMASTERS SA0150LP ein fortschrittlicher und zuverlässiger schneller thermischer Prozessor, mit dem Anwender auch komplexe Aufgaben schnell und sicher erledigen können. Es bietet Präzision, Geschwindigkeit und hohen Durchfluss an, es eine ideale Wahl für High-End-Halbleiterverarbeitungsanwendungen machend.