Gebraucht VARIAN XM 90 #9077097 zu verkaufen

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VARIAN XM 90
Verkauft
Hersteller
VARIAN
Modell
XM 90
ID: 9077097
Wafergröße: 8"
PVD system, 8" 4 to 8" wafer handling PC/PLC control system Turbo load lock CTI CT-8F cryo pump with compressor (3) Versamag target assemblies (3) A.E. MDX-5 DC P/S's ENI OEM-12 RF generator.
VARIAN XM 90 ist eine Präzisionssputterausrüstung, die für die Abscheidung von Dünnschichtmaterialien auf die Sub-ANGSTROM-Ebene entwickelt wurde. Es ist eine sehr vielseitige und effiziente Plattform zur Herstellung von Dünnschichten für Halbleiterverarbeitungs- und messtechnische Anwendungen. Das VARIAN XM90 System nutzt eine Reihe verschiedener Sputterquellen, darunter ein rotierendes wassergekühltes Target, sowie gasgestützte und DC/RF-Quellen, die alle individuell gesteuert werden können, um eine Reihe von Abscheidungsmöglichkeiten bereitzustellen. XM 90 besteht aus einer Steuereinheit, die über mehrere IO und Benutzerschnittstellen verfügt, um eine einfache Bedienung zu gewährleisten. Die Steuerung ermöglicht es dem Anwender, Parameter wie Zieldrehzahl und Kammerdruck sowie Rückkopplung bezüglich Dünnschicht- und Substrateigenschaften einzustellen. XM90 umfasst auch Sensoren und Komponenten zur Überwachung von Leistung, Temperatur und Partialdruck, die eine präzise Abscheidungssteuerung ermöglichen. VARIAN XM 90 beinhaltet eine Gaseinlass- und Abgasanlage zur Aufrechterhaltung des sauberen und kontaminantenfreien Betriebs. Sie umfaßt auch eine programmierbare Drosselmaschine, die in der Lage ist, einen konstanten Druck innerhalb der Kammer aufrechtzuerhalten und die Verteilung von Reaktantgasen zu steuern. VARIAN XM90 ist für einen Temperaturbereich von -60 ° C bis + 300 ° C ausgelegt und kann Materialien mit unterschiedlichsten Eigenschaften abscheiden. XM 90 kommt mit mehreren Konfigurationen abhängig von den gewünschten Dünnschichtabscheidungsanforderungen des Benutzers. Es unterstützt sowohl rotierende als auch planare Zielsysteme sowie eine Reihe von Zielmaterialien wie Metall, Oxid, diamantähnlicher Kohlenstoff und Dielektrikum. Das Werkzeug kann auch so konfiguriert sein, dass es gleichzeitig die Abscheidung mehrerer Schichten ermöglicht. Insgesamt ist XM90 eine sehr robuste und zuverlässige Sputteranlage, die dünne Filme mit Sub-ANGSTROM-Präzision ablegen kann. Sein vielseitiges und effizientes Design ermöglicht eine präzise Dünnschichtabscheidung sowie eine einfache Bedienung und Wartung. Mit der Fähigkeit, mehrere Materialschichten gleichzeitig abzuscheiden, und dem breiten Spektrum an Prozessparametern ist VARIAN XM 90 ein leistungsstarkes Werkzeug für die Dünnschichtherstellung.
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