Gebraucht HITACHI S-9300 #9032647 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9032647
Weinlese: 2001
CD Scanning electron microscope, 8-12"
Electron optical system:
Electron gun: SCHOTTKY Emission source
Electro magnetic lens:
3-Stage electromagnetic lens system with boosting voltage
Objective lens: (4) Openings click stop
Heated aperture is selectable / Adjustable outside the vacuum
Scan coil:
2-Stage electromagnetic deflection
Astigmatism correction via an 8-pole electromagnetic coil
Magnification: 1000x to > 300000x
Field control method: Continuously on for sample discharging at all voltages
Wafer imaging ability; Entire surface of 8” (or 12”) wafer
Depth of focus: >= 1.0 um at 80000x magnification
Resolution: 3 nm (800V) Retarding / Boosting mode
Hitachi probe tip
Power: 208 V 60 Hz 6 kVA 1 Phase
CD Measurement principle: Cursor and line profile measurement
Optical microscope system:
Image is monochrome
CCD Camera
Magnification is 110x
Wafer imaging:
X Coverage from 5 – 295 mm
Y Coverage from 5 – 195 mm
Notch down
Field of view: 1.2 mm
Accelerating voltage: 500 V to 1600 V, 10 V steps
Probe current: 4~24pA
Workstation:
Model: HP B180L (9GB)
O/S: Unix version HP-UX 10.20
Software version: 14.71
SECS / GEM Communication interface
Dual XY HITACHI micro scale
DSP Image processing
BSE Mode functionality
Multipoint measurement function
Edge roughness function
Automated image archiving function
Wafer handling system: (2) Cassette holders / ergo flippers
Convertible to 300 mm with conversion kit BRK-287006300
Water chiller unit
Main unit:
HV Controller
Lens PS unit
DEF PS Unit
Laser receiver unit
X-Axis laser unit
Laser linear scale cover
X-Axis excel precision PCB
Y-Axis excel precision PCB
STSensor PCB (R)
STSensor PCB (R)
STSensor PCB (L)
Secondary electron detection: SE and BSE electrons
Aperture ass'y
Ion pump 1, Ion pump 2, Ion pump 3 & controller
TMP1, TMP2 & controller
Stage controller
Display Unit:
Display of SEM and OM images, GUI operation screen
HP Workstation (B180L)
Keyboard & Mouse
FDD
MO Disk drive
System controller
ECPU 263 Controller
C-820A Controller
4500 COGNEX Controller
NMEN Controller
SIP Controller
PSDISP Controller
NSGVA Controller
EOCONT Controller
NOMAFC Controller
STAGE EBSI100 Controller
WT EBSI100 Controller
EVAC EBSI100 Controller
HV EBSI100 Controller
AMHSIO Controller
Power unit:
NIP Board
PS CN PCB
UPS Unit
Main power switch unit
ION pump power supply unit
Power distribution unit
Transformer unit
Port 1:
Door case
EFEM Unit:
Robot ass'y
Ceramic arm
Prealigner
Includes:
Load port 1
Load port 2
WT Controller
Chiller
Option:
Dry pump
Missing parts:
Display unit:
SIP Board
Cognex 4500 board
LAN HUB unit
HDD
Currently de-installed
2001 vintage.
HITACHI S-9300 ist ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) für den fortgeschrittenen Einsatz im Bereich der Materialanalyse. Es bietet eine breite Palette von Bildgebungsfunktionen, einschließlich hoher Vergrößerung, überlegener Auflösung und einer Vielzahl von Möglichkeiten, Bilder zu erstellen. Die Elektronensäule von HITACHI S9300 ist in der Lage, astronomische Vergrößerungen bis zu × 570.000 mit einer Auflösung von 2,5nm zu erzielen, wodurch sie Einblick in Bereiche erhält, in denen herkömmliche optische Mikroskope nicht erreichbar sind. Dadurch kann es sowohl große als auch kleine Strukturen mit extremer Klarheit abbilden und ist somit ideal für die mikroskopische Analyse geeignet. Das Mikroskop ist mit einer Lanthanhexaborid (LaB6) Feldemissionskanone (FEG) und einer CS-zentrierten Schottky Feldemissionskanone (FE) ausgestattet, die aber bei höheren Vergrößerungen eine höhere Leistung ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht seine Mehrfachfokus-Einstellung es Benutzern, zwischen zwei beliebigen Vergrößerungen zu wechseln, während ein fester Fokus beibehalten wird. Das SEM verfügt auch über einen umfassenden Satz von Detektoren, darunter einen Sekundärelektronendetektor, einen Feldemissionsrasterelektronendetektor, einen energiedispersiven Röntgendetektor (EDS), einen wellenlängendispersiven Röntgendetektor (WDS), einen Röntgendetektor (X). Diese breite Palette von Detektoren ermöglichen es Benutzern, leichter Daten aus dem von ihnen untersuchten Material zu gewinnen. Darüber hinaus verfügt das SEM über eine Vielzahl vorprogrammierter Abbildungsmodi, wie rückgestreute Elektronenbildgebung (BSE), beschleunigte Spannungskontrastbildgebung (AVM), reflektierte Elektronenbildgebung (REI) und mehrere bildgebende Tomographiemodi. Insgesamt ist S 9300 in der Lage, unglaublich detaillierte Bilder von Materialien bei hohen Vergrößerungen zu erzeugen, während es auch eine breite Palette von Detektoren und Abbildungsmodi hat. Seine Eigenschaften und Fähigkeiten machen es zu einem wertvollen Werkzeug für alle, die die inneren Abläufe von Materialien untersuchen möchten.
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