Gebraucht ACCRETECH / TSK AD-2000T #9187561 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9187561
Wafergröße: 12"
Dicing saw, 12"
Frames and cassettes:
12" Infineon frame C66365-A0034-C068-03-0006
12" Infineon frame C66365-A0034-C068-03-0006
12" ePAK Resources EFF12-300-3,5-EM-59
12" Disco frame DTF2-12-1
12" Frame magazine metal (Infineon standard)
Accuracy:
Kerf off-center: < 5 µm (6σ)
Kerf off-center Y1 to Y2 axis: < 3 µm (6σ)
Z-Axis repeatability: < ± 1µm (6σ)
Non contact set-up repeatability: < σ 2 µm (6σ)
Difference between chuck set-up and non-contact set-up: Max 4 µm (6σ)
Y-Movement (Y-axis for 1st and 2nd spindle):
Closed loop system
Effective stroke of each axis: min 310 mm
Indexing setting range:
0,0001 (0,1µm) to 310 mm for Y-axis and for y-axis.
Cumulative indexing error: < 3µm (6σ) at full range of 310mm (Y1-axis)
Single indexing error: < 2µm (6σ) at full range of 5mm
X-Movement:
Effective cutting stroke: 310mm
Stroke setting range: 1" - 12"
Programmable cutting speed: 0,1 to 300mm/s
Back movement speed 1000mm/s
X-Axis straightness: < 3 µm (6σ) /310 mm
Perpenticularity between X-axis and spindle shaft: < 8 arc sec (6σ) (1 arc sec = σ / 180 x 3600)
Perpenticularity between X- and Y- axis: < 10 arc sec (6σ)
Z-Movement:
Minimum step: 1 µm (6σ)
Effective stroke: > 14 mm (2" Blade)
Z-Axis speed: 50.0 mm/sec
Z-Axis repeatability: σ 1 µm (6σ)
Theta-movement:
Rotation angle: 0° - 320° CW and 60°CCW from initial point
Rotation speed: 45°/sec
Repeatability: ± 2 arc sec (6σ)
Closed loop system
Spindle:
Temperature stable spindle
Output: 1800W
Rotation speed: Up to 60.000 rpm
Dynamic vibration measured on any point of the spindle: Up to 55.000 rpm: < 0.5 µm
Blade connection: ¾"
Si-wafer cleaning system:
Atomizing nozzle at cleaner (N2/DI water)
Rotation range: 100 to 3000 rpm (Programmable)
Time setting: 1 - 999 sec (Programmable)
Stop position accuracy: ±1°
Voltage: 210 VAC ± 6%
3 Phase
50 Hz ± 1%
Compressed air pressure:
0,5 to 0,8 MPa
350 NL/min
N2:
0,5 to 0,8 MPa
200N L/min
Wheel coolant / Spinner cleaning water / Water curtain:
0,2 to 0,4 MPa
14 L/min
Spindle coolant:
0,2 to 0,4 MPa
3,0 L/min
Rinsing water:
0,2 to 0,4 MPa
1,0 L/min
Duct capacity >5 m3/min.
ACCRETECH/TSK AD-2000T Scribing/Dicing Equipment ist ein hochpräzises Werkzeug zur Bearbeitung von Halbleiterscheiben und anderen Substraten. Das System wurde entwickelt, um das präzise Schneiden dieser Materialien sowohl in Kritzel- als auch in Würfelanwendungen zu ermöglichen. TSK AD-2000T verfügt über einen Hochgeschwindigkeits-Schneidkopf, einen Tisch zur Materialunterstützung und eine fortschrittliche Regeleinheit, die hohe Genauigkeit und wiederholbare Ergebnisse liefert. Die Maschine besteht aus einem fünfachsigen Schneidkopf, der eine maximale Vorschubgeschwindigkeit von 4500mm/s und eine lineare horizontale Schnittgeschwindigkeit von 300mm/s aufweist, und einem XYZ-Lineartisch, der Substrate bis zu 900mm Größe aufnehmen kann. Der Schneidkopf ist so konzipiert, dass er ultrafeine Präzisionspunkte, Linien und Formen in den Substraten präzise und schnell schreibt. Die linearen Achsen werden von einem Gleichstrommotor mit direktem Antrieb sowie einem fortschrittlichen Bewegungssteuerungswerkzeug angetrieben, das es dem Gerät ermöglicht, hohe Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit und Geschwindigkeit auch bei der Handhabung der kleinsten Merkmale in den Substraten zu liefern. ACCRETECH AD-2000T verfügt zudem über ein Regelmodell, das eine präzise Beschriftung und Zerkleinerung der Materialien gewährleistet. Die Ausrüstung kann mit verschiedenen Arten von Klingen verwendet werden, einschließlich Diamant-Scribing-Klingen, Hartmetallklingen und Laserschneidköpfe. Darüber hinaus können AD-2000T mit einem optionalen Bildverarbeitungssystem ausgestattet werden, das eine Fehlerkorrektur und verbesserte Prozessfunktionen ermöglicht. ACCRETECH/TSK AD-2000T verfügt auch über eine Reihe von erweiterten Software-Tools für einfache und wiederholbare Teile Programmierung. Die Software bietet eine umfassende Suite von CAD/CAM-Funktionen, einschließlich 2D- und 3D-Zeichnung, Bearbeitung, Verschachtelung und 3-Achsen-Grafiksimulation. So kann das Gerät sowohl in Scribing- als auch in Würfelanwendungen schnell und präzise programmiert werden. Darüber hinaus sorgt die Regelmaschine TSK AD-2000T für eine sichere Arbeitsumgebung und eine nahtlose Integration in die Prozesse der Anwender. Dies sorgt für eine verbesserte Performance und Wiederholbarkeit in den Prozessen. Mit seiner Kombination aus fortschrittlicher Hard- und Software bietet ACCRETECH AD-2000T ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug für die Bearbeitung von Substraten in Scribing- und Würfelanwendungen.
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