Gebraucht ANATECH / TECHNICS HUMMER 8.1 #9063447 zu verkaufen

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ANATECH / TECHNICS HUMMER 8.1
Verkauft
ID: 9063447
Wafergröße: 4"
Weinlese: 1996
Chrome deposition system, 4" Installed in a cleanroom 1996 vintage.
ANATECH HUMMER 8.1 Sputterausrüstung ist für Beschichtung Abscheidung und Probe Sputter Vorbereitung Anwendungen konzipiert. Dieses hochmoderne System verfügt über eine automatisierte In-situ-Messtechnik, die eine präzise Sputtersteuerung und gleichzeitige Analyse ermöglicht. TECHNICS HUMMER 8.1 ist eine Hochvakuum-Mehrquellen-Sputtermaschine mit einer Lastschloßkammer, die einen niedrigen Druck von 4 x 10-7 Pascal und eine hohe Sputtergleichmäßigkeit auf großen Substratflächen aufweisen kann. Der primäre Bestandteil von ANATECH/TECHNICS HUMMER 8.1 ist die Sputterquelle. Dabei handelt es sich um eine Hochstrom-drehbare Plasmaquelle, die eine Vielzahl von Metallen und Legierungen abscheiden kann. Die Sputterquelle verfügt über zwei verschiedene Abschnitte, die eine präzise Steuerung des Sputterkollektivs, des Gasflusses und des Drucks sowie der Temperatur ermöglichen. Das einzigartige Design ermöglicht eine unabhängige Sputtersteuerung jedes Abschnitts. Diese Sputterquelle ist mit dem Plasma View III Panel ausgestattet, das genaue und zuverlässige Plasmaüberwachungsdaten liefert. Das Automatisierungstool von ANATECH HUMMER 8.1 wird von einem verteilten Computer-Asset im Controller-Modul angetrieben und bietet eine umfassende, aber flexible Plattform zur Steuerung aller Funktionen des Sputter-Modells. Die Automatisierungsausrüstung umfasst ein Bedienfeld mit einfach zu bedienender analoger Steuerung und digitalen Auslesungen. Es verfügt auch über ein Load Lock System, das eine schnelle Beladung von Substraten in die Kammer und eine genaue Sputterabscheidung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt TECHNICS HUMMER 8.1 über eine einzigartige Messtechnik in situ, die eine präzise Sputtersteuerung und gleichzeitige Analyse ermöglicht. Diese Maschine ist bereits mit einer Vielzahl von Analysewerkzeugen ausgestattet, einschließlich Restgasanalysator, Auger-Elektronenspektroskopie und Ar-Ionen-Fräsen. Es sind auch zwei optische Anschlüsse enthalten, die eine Überwachung des Substrats bei Sputterprozessen ermöglichen. ANATECH/TECHNICS HUMMER 8.1 wurde unter Berücksichtigung der Sicherheit entwickelt. Es ist mit Notabschaltsystemen und einem wassergekühlten Magneten für zusätzliche Vorsichtsmaßnahmen ausgestattet. Darüber hinaus ist dieses Sputterwerkzeug entworfen, um mit zuverlässiger Leistung und niedrigen Wartungskosten in einer ultra-hohen Vakuumumgebung zu arbeiten. Abschließend ist ANATECH HUMMER 8.1 eine fortschrittliche Sputteranlage, die eine präzise und zuverlässige Sputterabscheidung für eine Vielzahl von Metallen und Legierungen ermöglicht. Es verfügt über ein hochflexibles Automatisierungsmodell, eine In-situ-Messtechnik und Sicherheitssysteme. Sein fortschrittliches Design ermöglicht eine präzise Sputtersteuerung, Analyse und gleichmäßige Abscheidung auf größeren Substraten.
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