Gebraucht LOH RF 3A #77401 zu verkaufen

ID: 77401
Wafergröße: 4"-5"
Automatic curve generator, 100-120mm, does not include magazine plate or turntable.
LOH RF 3A ist eine hochmoderne Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung (WGPL). Dieses sehr vielseitige Bearbeitungssystem integriert sowohl Schleif- als auch Polierfunktionen und ermöglicht mehrere Bearbeitungsprozesse von Wafern. RF 3A hat eine einzigartige Architektur, die Platz für 3-Zoll und 4-Zoll-Wafer, bis zu 8 "im Durchmesser. Es wird von einem leistungsstarken Roboter-Werkzeugwechsler angetrieben, der eine breite Palette von verschiedenen Schleif- und Polierrädern handhaben kann. Die LOH RF 3A-Einheit ist mit einem hochpräzisen Scanner, einer Bewegungssteuerungsmaschine und Roboter-IO-Modulen ausgestattet. Der Scanner erkennt die Positionen der Wafer genau und führt Inprozessinspektionen durch. Es kommt mit einer integrierten Bibliothek von Wafer-Rezepten, so dass es zuverlässig verschiedene Wafer mit verschiedenen Einstellungen zu bearbeiten. Das Bewegungssteuerungswerkzeug ist so konzipiert, dass es hohe Geschwindigkeit und Genauigkeit beim Positionieren, Schleifen und Polieren bietet. Die Roboter-IO-Module ermöglichen eine präzise und wiederholbare Steuerung aller Bearbeitungsparameter. RF 3A verfügt über einen eingebauten Kühler, um die Temperatur innerhalb der Bearbeitungsbereiche zu halten. LOH RF 3A ist für hohe Qualität und wiederholbare Leistung entwickelt. Es kann die Wafer mit einer sehr flachen und glatten Oberfläche verlassen. Die Maschine ist hochautomatisiert und kann mehrere Wafer in einer Sitzung handhaben. Es ist hochgradig konfigurierbar und ermöglicht mehrere Bearbeitungsvorgänge und Prozesse. Das Asset wird von einem leistungsstarken computerbasierten Prozesscontroller betrieben, der eine hohe Flexibilität in den Einstellungen und Parametern bietet. Darüber hinaus ist RF 3A mit den zuverlässigsten Sicherheitsmerkmalen ausgelegt. Es ist mit Sicherheitsverriegelungen und anderen Sicherheitsmerkmalen gebaut, die den sicheren und ordnungsgemäßen Betrieb der Maschine gewährleisten. Das Modell ist mechanisch, elektrisch und HF kompatibel und eignet sich somit für verschiedene Waferanwendungen. LOH RF 3A verfügt über eine einfache und intuitive Benutzeroberfläche und Einrichtung, so dass der Bediener die Maschine schnell und effizient für verschiedene Prozesse einrichten kann. Insgesamt ist RF 3A eine hochkompetente und zuverlässige WGPL-Ausrüstung, die speziell für die Bearbeitung von Wafern entwickelt wurde. Seine präzisen Scan- und Bewegungssteuerungssysteme, Roboterwerkzeugwechsler und automatisierten Prozesse liefern wiederholbare und qualitativ hochwertige Bearbeitungsergebnisse. LOH RF 3A ist hochkonfigurierbar und kann für mehrere Bearbeitungsprozesse verschiedener Wafer verwendet werden.
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