Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 350 / 351 #9027395 zu verkaufen

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ADE / KLA / TENCOR 350 / 351
Verkauft
ID: 9027395
Wafer inspection / transfer robot for 9300 / 9600.
ADE/KLA/TENCOR 350/351 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für Wafer-Prüf- und Messtechnik-Anwendungen entwickelt wurde. Es wird verwendet, um eine Vielzahl von physikalischen Eigenschaften eines Wafers zu messen, wie Kanten, Dotierstoffebenen, Kristallstruktur, Oberflächenebene und Dicke. Dieses System wurde entwickelt, um schnelle und genaue Ergebnisse für die Analyse zahlreicher Arten von Wafern zu liefern, darunter: Flip-Chip-Pakete, MEMS, SOI, LED-Chips und GaAs. Zu den Hauptmerkmalen und Fähigkeiten von ADE 350/351 gehören die Rasterelektronenmikroskopie (SEM), die fokussierte Ionenstrahl-Bildgebung (FIB), die thermische ATR-Spektroskopie usw. Es ist mit hochauflösenden Bildgebungssystemen ausgestattet, die eine detaillierte Beobachtung von Mikrokomponenten und Strukturen ermöglichen. Die SEM-Bildgebungseinheit bietet Vergrößerungen von 10X bis 200000X, während die hochauflösende FIB-Optik die Visualisierung feiner Strukturen und Merkmale auf verschiedenen Materialien ermöglicht. Die thermische ATR-Spektroskopie ist eine Hochschärftechnik zur Messung der Dotierstoffgehalte durch Emissionserfassung aus der erhitzten Probe. KLA 350/351 bietet auch anspruchsvolle automatisierte Softwarelösungen zur detaillierten Analyse und Vermessung von Wafern. Es ist mit verschiedenen mehrdimensionalen Analysealgorithmen für die Waferinspektion und Messtechnik ausgestattet. Diese Algorithmen können eine Reihe von Parametern wie Merkmalsgröße, 3D-Oberflächenmorphologie, Kantenkonzentration, Höhenverteilung usw. messen. Darüber hinaus bietet die Software die Möglichkeit, mehrere Datensätze zu vergleichen, um mögliche Fehler und Anomalien im Wafer zu analysieren und zu erkennen. Die Maschine ist in der Lage, eine Reihe von Merkmalen mit einer Genauigkeit von 0,6 Nanometern zu messen. Es ist hocheffizient mit einem Durchsatz von 5 Wafern pro Stunde. Darüber hinaus wurde es entwickelt, um die Datengenauigkeit mit einer geräuschfreien Umgebung zu gewährleisten. Mit robuster Konstruktion und Hochleistungskonstruktion kann es ohne zusätzlichen Schutz in Produktionsumgebungen eingesetzt werden. Darüber hinaus bietet es eine Reihe von Integritäts- und Zuverlässigkeitsfunktionen für eine zuverlässige Waferdatensammlung. Abschließend ist 350/351 eine ideale Wahl für Wafertests und messtechnische Anwendungen. Es ist entwickelt, um hohe Genauigkeit Ergebnisse für verschiedene Arten von Wafermaterialien zu liefern. Es ist mit anspruchsvoller Software und mehrdimensionalen Analysealgorithmen ausgestattet, die es zu einer idealen Wahl für die Suche nach strukturellen und kompositorischen Anomalien in Wafern machen. Sie garantiert einen Durchsatz von 5 Wafern pro Stunde und garantiert die Integrität der Wafer mit ihrer robusten und geräuschfreien Umgebung.
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