Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9600 #9095972 zu verkaufen

ADE / KLA / TENCOR 9600
ID: 9095972
Wafer inspection systems (2) Inputs (3) Outputs Hi-res station ASC 2000 Signal arm robot E++ stage Does not include probe arm.
ADE/KLA/TENCOR 9600 ist ein Wafer-Test- und Messtechnik-System, das erweiterte bildgebende Fähigkeiten und Wafer-Level-Messtechnik verwendet, um Wafer und ihre Komponenten genau zu messen, zu analysieren und zu charakterisieren. Mit hochauflösender Scan- und Bildgebungstechnologie kann das Gerät Ergebnisse mit hoher Präzision und Genauigkeit liefern. Für den Testbereich der Maschine scannt eine patentierte optische Abtasttechnologie namens Defect Inspection and Sizing (DIS) die gesamte Waferoberfläche auf der Suche nach Defekten. Diese Fehler können mittels eines Bilderkennungsalgorithmus automatisch gemessen, klassifiziert und analysiert werden. Durch die Verwendung separater Farbkanäle und sowohl Weitwinkel- als auch Schmalwinkeloptiken ist das Werkzeug in der Lage, eine Vielzahl von Fehlern wie Rückständen, Partikeln und Rissen genau zu identifizieren und zu vergrößern. Der messtechnische Teil der Anlage ist in der Lage, die genauen Abmessungen der Struktur eines Wafers bereitzustellen. Ein hochauflösendes Optikmodell wird mit einer schnellen automatischen Ausrichtung auf Waferebene kombiniert, um detaillierte Messungen mit einer Submikrongenauigkeit bereitzustellen. Das System kann eine breite Palette von Parametern wie Schritthöhe, Dicke und Kontaktfläche messen. Darüber hinaus ist das Gerät auch in der Lage, hochauflösende Bilder der Oberfläche zur topographischen Analyse zu erfassen. ADE 9600 Maschine verfügt über eine benutzerfreundliche Schnittstelle, die eine einfache Einrichtung und Steuerung von Parametern ermöglicht. Es soll Anwendern helfen, Fehler auf der Waferoberfläche schnell zu erkennen und zu beheben, was zu höheren Erträgen und einem verbesserten Herstellungsprozess führen kann. Mit seinen automatisierten Pass/Fail-Inspektionsmöglichkeiten und automatisierten Datenanalysen kann das Tool detaillierte Wafertests und messtechnische Ergebnisse in einem Bruchteil der Zeit liefern, die es mit manuellen Methoden benötigen würde.
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