Gebraucht ASM WS 896 #9159227 zu verkaufen

ASM WS 896
Hersteller
ASM
Modell
WS 896
ID: 9159227
Weinlese: 2007
Wafer scanners Currently de-installed 2007 vintage.
ASM WS 896 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper von ASM Linx, einem führenden Lieferanten von Produktionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Stepper ist in der Lage, den Lithographieprozess für fortgeschrittene CMOS-, MEM- und MEMS-on-CMOS-Geräte durchzuführen. Der Wafer-Schrittmotor ist mit einem leistungsstarken 3-Achsen-Motor ausgestattet, der eine präzise Ausrichtung zwischen den Komponenten des Gerätes gewährleistet und eine hochpräzise Belichtung des Wafers gewährleistet. Die 4-bis-6-mm-Punktgröße des Geräts ermöglicht eine breite Palette von Prozessen, von Einzelbelichtungen bis hin zu Gate-Array-Prozessen. Der Stepper verfügt zudem über eine maximale Belichtungsgeschwindigkeit von 500 Wafern pro Stunde, was eine erhöhte Produktionsgeschwindigkeit und einen erhöhten Durchsatz ermöglicht. Darüber hinaus ist das System mit einer fortschrittlichen optischen Einheit ausgestattet, die eine gleichmäßige Beleuchtung über das gesamte Wafersubstrat gewährleistet und eine gleichmäßige Photonendosis über alle Masken und Strukturen gewährleistet. Damit ist ASM WS896 eines der zuverlässigsten und präzisesten Lithographiewerkzeuge. Der Stepper verfügt auch über eine komplette Reihe von Ausrichtungs- und Musterüberprüfungsfunktionen, die zur Reduzierung von Produktionsfehlern beitragen, und eine integrierte Kreuzpositionierungsmaschine für höchste Genauigkeit. Das Tool verfügt über einen modernen CCD-Monitor, der die Ausrichtung und Optimierung der Asset-Parameter ermöglicht. WS 896 verfügt auch über EasyRun Ätzsteuerungssoftware, die präzise Ätzprozesse, wie Trockenätzen, sowie Nassätzen ermöglicht. Die Ätzsteuerungssoftware ermöglicht globale, erweiterte Ätzparameter wie Ätzwinkel, Ätzrate und Ätzratenschutz. Darüber hinaus verfügt WS896 über eine schwingungsarme Stepper-Konstruktion, die den Geräuschpegel reduziert, wodurch das Modell für den industriellen Einsatz geeignet ist und die Leistung des Werkzeugs verbessert. Das Gerät verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie Temperaturüberwachung, Energieausstoß und mehrere vom Benutzer einstellbare Sicherheitsgrenzen. Insgesamt ist der ASM WS 896 Wafer Stepper ein leistungsfähiges und zuverlässiges Lithographiewerkzeug mit einer Vielzahl von Funktionen und Funktionen, die ihn für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet machen. Von der Präzisionsbelastung von Wafern auf Produktionsebene bis hin zum Ätzen und Optimieren von Prozessen bietet das System eine zuverlässige, hochpräzise Lösung für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen.
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