Gebraucht ASM WS 896 #9176106 zu verkaufen

ASM WS 896 ist ein optischer Stepper, der eine präzise Positionierung von Wafern zum Zwecke der Lithographie ermöglicht. Es verfügt über eine Scanfläche von 290mm mit hoher Heftgenauigkeit und Geschwindigkeit für höchste Gleichmäßigkeit sowie ein eingebautes Sichtsystem und automatisches Be-/Entladen von Wafern. Damit eignet er sich gut für die Entwicklung von Halbleiterherstellungsprozessen. Mit direkt angetriebenen motorisierten Linearachssystemen und einer stabilisierten Beleuchtungseinheit ist ASM WS896 in der Lage, bei einer maximalen Scangeschwindigkeit von 10.000 mm/Sekunde eine überlegene Genauigkeit und Stabilität aufrechtzuerhalten. Sein vibrationsbeständiges Design zeichnet sich durch eine überlegene Reproduzierbarkeit der Positionierung von ± 3µm aus und ist somit ideal für flache Trenn-Isolations- und Doppelmuster-Prozesse. WS 896 verfügt über ein eingebautes Vision-System und automatisches Be-/Entladen von Wafern, um einen größeren Durchsatz zu gewährleisten. Die automatische Mustererkennung auf der Bühne unterstützt eine flexible Ausrichtung für einzelne und doppelte Musteroperationen. Das motorisierte Zoomobjektiv ermöglicht eine Vergrößerungseinstellung von 6x bis 60x für optimale Auflösung und Fokus. Darüber hinaus unterstützt WS896 verschiedene Belichtungswerkzeuge, von allgemeinem UV bis DUV. Mit zahlreichen Belichtungsmöglichkeiten und hoher Flexibilität sind Anwendungen wie Lithographie und Ätzen für große Formate sowie einfache Masken und Ausrichtschichten möglich. ASM WS 896 scannt eine Reihe von Wafergrößen von 4 Zoll bis 12 Zoll Durchmesser und kann bis zu 8 Schichten Wafer in einem einzigen System unterstützen. Schließlich eignet es sich aufgrund seiner außergewöhnlich niedrigen Ausfallrate gut für einen zuverlässigen Langzeitbetrieb.