Gebraucht ASML AT 1150iS Twinscan #9197839 zu verkaufen

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ASML AT 1150iS Twinscan
Verkauft
ID: 9197839
Immersion lithography tool, currently installed in a cleanroom.
ASML AT 1150iS Twinscan ist ein Wafer-Stepper, der eine umfassende Lithographie-Verarbeitung für verschiedene Einzel- und Multi-Die-Anwendungen bietet. Es wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterherstellungsindustrie zu erfüllen und bietet höchste Präzision und Genauigkeit bei gleichzeitiger Minimierung der Gesamtbetriebskosten. Der Stepper verfügt über einen optischen Zweispiegelpfad, der eine maximale Auflösung von bis zu 12 Mikrometern ermöglicht. Dies hilft, wiederholbare Prozessergebnisse und konsistente Ausbeuten mit einem verbesserten Durchsatz von bis zu 180 Wafern pro Stunde zu gewährleisten. Die AT- 1150iS ist für High-End-Lithographie-Anforderungen mit Expositionspegeln unter 12 Nanojoule pro Sekunde ausgelegt. Darüber hinaus hat es eine erweiterte Feldgröße von bis zu 52 mal 80 Millimeter, so dass eine breite Palette von Wafergrößen verarbeitet werden kann. Die AT- 1150iS ist mit einem integrierten Bühnen- und Schrittbewegungsregler ausgestattet, der eine ausgezeichnete Genauigkeit und Präzision bei unterschiedlichsten Arbeitsbedingungen bietet. Eingebettete Steuerungssoftware kann auf die Bedürfnisse der Anwendung zugeschnitten werden und bietet eine flexible und adaptive Bedienung. Der Stepper bietet auch ein integriertes System von Vakuumpumpen und Sensoren, um die richtige Umgebung für eine genaue und wiederholbare Verarbeitung zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt AT 1150iS Twinscan über ASML patentierte RealScan™ Technologie, ausgezeichnet als „Best of Spectrum“ in Anerkennung seiner hervorragenden Ergebnisse. Es nutzt aktive Strahlkorrektur und Strahlzentrierung Fähigkeiten, die für überlegene Auflösung und wiederholbare Ergebnisse wesentlich sind. Um maximale Betriebszeit zu gewährleisten, bietet ASML AT 1150iS Twinscan eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, die darauf ausgelegt sind, Anomalien zu erkennen und zu beheben, bevor sie sich auf die Produktion auswirken. Die Liebe zum Detail wird mit einem eingebetteten Partikelmonitor zur sofortigen Fehlererkennung sowie HealScan-Überwachung gezeigt, um die Genauigkeit der Ausrichtung zu gewährleisten. Insgesamt ist AT 1150iS Twinscan eine ideale Lösung für anspruchsvolle Lithographieanwendungen und bietet die Geschwindigkeit und Genauigkeit, um Effizienz und Ertrag zu maximieren. Mit seinen flexiblen Funktionen und dem leistungsstarken Betrieb können Anwender von ASML AT 1150iS Twinscan sicher sein, überlegene Prozessleistung und -ergebnisse zu erzielen.
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