Gebraucht ASML AT-850 #9198430 zu verkaufen

ASML AT-850 wafer stepper ist eine automatisierte, computergesteuerte Waferbearbeitungsmaschine, die im Halbleiterherstellungsprozess eingesetzt wird. Es funktioniert, indem es eine Photomaske mit einem ultravioletten Laser abtastet und dann das Muster auf einen Wafer überträgt. Das Gerät ist mit zwei verschiedenen Belichtungsquellen und einer Vollfeld-Dithering-Scan-Strategie für hochauflösende Musterung ausgestattet. Dies ermöglicht eine präzise Form, Linienbreite und Abstandsregelung sowie einen hohen Durchsatz. Das Gerät ist mit zwei Lithographie-Quellen - i-Line und ArF Excimer Laser - die verwendet werden können, um Merkmale bei 135 bzw. 193 nm zu mustern. Beide Laser sind wellenlängen- und kohärenzgesteuert, was bedeutet, dass sie komplexe Formen mit hoher Auflösung präzise mustern können. Das System verfügt auch über mehrere Algorithmen, die je nach Anforderungen des Auftrags verwendet werden können, um den Durchsatz und das Prozessfenster zu optimieren. Die Wafer werden über ein Roboterhandhabungsgerät und SCARA-Roboter, die beide hochpräzise und programmierbar sind, zum Maskenausrichter transportiert. Die Bühne kann programmiert werden, um eine Reihe von Wafern zu handhaben, mit Größen von 200 bis 400 Millimeter. Sobald der Wafer vorhanden ist, kann er präzise geneigt und auf die Maske gekippt werden, die über ein Sichtfeld verfügt, das an die Anforderungen des Auftrags angepasst werden kann. Der Wafer-Stepper ist auch mit einer Vielzahl von Detektoren ausgestattet, die zur Überwachung und Steuerung des Belichtungsprozesses verwendet werden. Dazu gehören Interferometer, Detektoren zur Messung des Profils eines strukturierten Wafers und Rasterelektronenmikroskope, die den gesamten Wafer bei hoher Vergrößerung abtasten können. Dadurch wird sichergestellt, dass die Muster von höchster Qualität und Treue sind. Alle Parameter, die während des lithographischen Prozesses geändert werden müssen, können mit dem On-Board-Controller, einem industrietauglichen Automation-PC, genau und schnell eingestellt werden. Dies ermöglicht es Benutzern, Belichtungseinstellungen und Belichtungszeiten einfach zu programmieren oder zu ändern. Schließlich ist ASML AT 850 Wafer Stepper auch sehr energieeffizient und reduziert die Umweltbelastung des Prozesses. Einige Modelle haben auch eine Energierückgewinnungsmaschine eingebaut, die hilft, Energie zurückzugewinnen, die sonst während des Belichtungsprozesses verloren geht.