Gebraucht ASML AT-850D #9197016 zu verkaufen

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ASML AT-850D
Verkauft
Hersteller
ASML
Modell
AT-850D
ID: 9197016
ARF Scanner.
ASML AT-850D Wafer Stepper ist eine hochpräzise und präzise optische Ausrichtung Ausrüstung in der Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen verwendet. Es ist mit einem 5-Achsen-Simultan-Positioniersystem ausgestattet, das eine Nanometer-Präzisionsausrichtung ermöglicht. Es hat eine Länge von 19,7 Fuß (6m), Breite: 9,3 Fuß (2.8m) und Höhe: 9,7 Fuß (3m). ASML AT850D ist eine hochentwickelte Einheit, die eine hervorragende Funktion für die Ausrichtung von Wafern bietet. Es verfügt über eine hochempfindliche lineare Encodermaschine sowie eine präzise Encoderskalengenauigkeit von ± 1nm, die eine ausgezeichnete Genauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleistet. Die Fortschritte ermöglichen eine Millisekunden-Bühnenbewegung. Das schlüsselfertige Steuerwerkzeug der Maschine ermöglicht die vollständige Vermeidung von Verformungen durch äußere Schwingungen. AT 850D ist mit einem automatisierten Inspektionsgerät ausgestattet, das eine genaue Waferausrichtung erkennen, analysieren und aufrechterhalten kann. Es verfügt über ein insgesamt 6-Kopf-Ausrichtungsmodell, das jeweils bis zu 25 Marker auf einem bestimmten Wafer detektieren kann. Die Ausrüstung wird durch ein leistungsfähiges Prozessleitsystem gesteuert, das aus mehreren Servo- und Bewegungssteuerungsmodulen und fortschrittlicher Software besteht. Der Wafer-Stepper kann eine Vielzahl von Ausrichtschritten aufnehmen und umfasst eine intelligente Wafer-Indexiereinheit, die mehrere Wafer-Ausrichtungen pro Belichtung ermöglicht. Die voll ausgestattete Maschine verarbeitet nahezu jedes Ausrichtungsmuster mit hoher Präzision. Es verwendet anspruchsvolle Rechen- und Bildverarbeitungsalgorithmen zusammen mit fortschrittlicher Optik, um eine genaue Wafer-Positionierung zu gewährleisten. Die Maschine ist auch mit einem fortschrittlichen hochpräzisen Waferausrichtungsmikroskop ausgestattet. Dieses Mikroskop bietet Kunden einen überlegenen Blick auf den Wafer-Bonding-Bereich. Es kann bis zu 8 μ m Genauigkeit über einen 5 Mikrometer Fehlerbereich bieten und kann 1 Nanometer Größe Funktionen auflösen. Das Werkzeug ist mit einem hoch optimierten optischen Asset konzipiert, das eine geringe Verzerrungsoptik bietet. Darüber hinaus erzeugt das spezielle Beleuchtungsmodell eine gleichmäßige Lichtquelle hoher Intensität, die Hot Spots eliminiert und Schaltungsverzerrungen reduziert. Insgesamt ist ASML AT 850D Wafer Stepper eine hochpräzise und präzise Ausrüstung mit einer breiten Palette von Funktionen entwickelt, um überlegene Genauigkeit in der Wafer-Herstellung bieten. Es ist mit der neuesten Technologie ausgestattet, um maximale Genauigkeit und Wiederholbarkeit für die perfekte Ausrichtung von Wafern während des Herstellungsprozesses zu gewährleisten.
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