Gebraucht ASML PAS 5500 / 100D #9203101 zu verkaufen

ASML PAS 5500/ 100D ist ein weltweit führender Wafer-Stepper, der von ASML, einem fortschrittlichen Halbleiterherstellungsunternehmen, entwickelt wurde. Es ist eine kompakte, luftlagernde, präzise Positionierausrüstung zur präzisen Übertragung von Mustern auf eine kreisförmige Platte, die als Wafer bezeichnet wird. ASML PAS 5500/100D besteht aus drei Hauptkomponenten: einer Hauptstruktur, einer Lambda-Achse und einem Mustergenerator. Die Hauptstruktur besteht aus einer X-Y-Stufe, die von Präzisionsmotoren angetrieben wird, um Stabilitäten auf Nanometerniveau in allen drei Bewegungsachsen zu erreichen. Die Lambda-Achse ist eine Drehstufe, die in der Lage ist, den Wafer zu drehen und je nach Anwendung ein Array verschiedener Formate wie rund, rechteckig und quadratisch anzunehmen. Der Mustergenerator umfasst Hochleistungslaserkomponenten, die das Muster auf dem Wafer erzeugen, wenn sie dem übertragenen Laserlicht ausgesetzt sind. Der Mustergenerator enthält auch ein erweitertes optisches System, um die gewünschte Auflösung bis 300nm bereitzustellen. PAS 5500/100 D verfügt zudem über eine robuste geschlossene Bewegungssteuerung für hochpräzise Ausrichtung und Positionierung. Diese Steuerungsmaschine verwendet Encoder, ein Feedback-Tool und verschiedene Schnittstellenelemente wie eine Vision/Bildverarbeitungsanlage und Laserinterferometrie für einen genauen Wafertransport. Die Konstruktion der Maschine verwendet auch ein Luftlagermodell, um Vibrationen zu minimieren und eine stabile Plattform zu gewährleisten. ASML PAS 5500/100 D ist auch mit einer fortschrittlichen Umgebungssteuerung ausgestattet. Dieses System ermöglicht eine präzise Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle, um die Waferparameter beizubehalten und Schäden durch Hitze oder Feuchtigkeit zu vermeiden. Die gesamte Einheit ist in einem staubdichten Behälter eingeschlossen, um eine staubfreie Umgebung zu gewährleisten. Schließlich verfügt PAS 5500/100D auch über eine benutzerfreundliche Oberfläche für einfache Bedienung. Dazu gehört eine interaktive grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der Benutzer die Einstellungen und Parameter an ihre jeweilige Anwendung anpassen können. Die Maschine verfügt auch über Diagnosesoftware, mit der Maschinenbetriebe analysiert und Fehler oder Fehler erkannt werden können. Abschließend ist PAS 5500/ 100D ein zuverlässiger und präziser Wafer-Stepper, der die härtesten Anforderungen der heutigen Halbleiterindustrie erfüllt. Es bietet eine effiziente und genaue Strukturierung von Wafern mit hohem Durchsatz und einer Vielzahl von Funktionen, einschließlich einer robusten Bewegungssteuerungsmaschine, einem fortschrittlichen Optik-Tool, einer präzisen Umgebungskontrolle und einer benutzerfreundlichen Schnittstelle.