Gebraucht CANON FPA 2000 i1 #100914 zu verkaufen

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Hersteller
CANON
Modell
FPA 2000 i1
ID: 100914
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1991
i-Line Stepper machine, 6" Reticle: 5" Stored in a cleanroom 1991 vintage.
CANON FPA 2000 i1 ist ein hochpräziser, optischer High-End-Wafer-Stepper. Sie dient zur Herstellung komplexer Halbleiterstrukturen oder integrierter Schaltungen (ICs). Es ist eine Ausrüstung nach Industriestandard, die extrem präzise Muster und Strukturen mit Nanometergenauigkeit liefert. Das System ist mit einer i-line Projektions- und 405nm μ -ROC (reflection-mode off-axis) Beleuchtungsquelle ausgestattet. Diese Kombination bietet ausgezeichnete Präzision und geringe Punktgröße aufgrund der Fähigkeit seiner Wellenlänge, Licht effizient zu übertragen und zu reflektieren. Darüber hinaus verfügt die Plattform über eine hochempfindliche, dreikameraautomatisierte Ausricht- und Steuereinheit. Diese Funktion dient zur präzisen Ausrichtung und Steuerung einer Vielzahl von Gerätegeometrien und -konfigurationen, die eine präzise Strukturierung und Maskierung ermöglichen. Die hochpräzise Stufenmaschine des Steppers ermöglicht es dem Bediener, eine Vorrichtung zur präzisen Strukturierung genau einzustellen und zu positionieren. Dies wird mit Hilfe präziser, omnidirektionaler Bewegungsregler erreicht, die für Geschwindigkeit und Genauigkeit bei jeder vorgenommenen Einstellung sorgen. Die Funktion NPF (Numerical Proximity Focus) ermöglicht es dem Benutzer, das Gerät schnell auszurichten und zu fokussieren, was die Genauigkeit und den Durchsatz weiter verbessert. CANON FPA2000-I1 verfügt zudem über ein ausgeklügeltes Expositions- und Resistkontrollsystem. Dieses Schema kombiniert verschiedene Belichtungstechniken wie Pulsweitenmodulation (PWM), Hintergrundbelichtung und Langzeitbelichtung, um präzise Musterergebnisse zu gewährleisten. Das Tool unterstützt auch eine vollständige digitale Prototyping-Umgebung, die eine schnelle Design-Simulation und Optimierung ermöglicht. Diese Ausstattung ist ideal für Anwendungen, die hochpräzise Muster mit engen Toleranzen und ausgezeichneter Oberflächengenauigkeit erfordern. FPA-2000I1 bietet ein hochauflösendes optisches Prüftafel-Modell, mit dem Bediener ein Gerätemuster auf Genauigkeit und Fehler überprüfen können. Es verfügt auch über eine Vier-Punkte-Bildmesseinrichtung, die kritische Fehler wie Kurzschluss, Überbrückung und Fehlausrichtung automatisch erkennen kann. Darüber hinaus bietet das System eine breite Palette von Tools zur Leistungsüberwachung, einschließlich Diagnose- und Leistungsoptimierungstools. CANON FPA 2000 I 1 Wafer Stepper ist eine leistungsstarke, hochpräzise Produktionsplattform, die präzise Muster mit Nanometergenauigkeit und Zuverlässigkeit liefert. Die Kombination aus hochgenauen Bewegungsreglern, optischer und Resistkontrolle und Leistungsüberwachungswerkzeugen machen es zu einer idealen Plattform für aufgabenkritische Anwendungen.
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