Gebraucht NIKON NSR 1505 G6E #9120694 zu verkaufen

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NIKON NSR 1505 G6E
Verkauft
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1505 G6E
ID: 9120694
Wafergröße: 5"
Stepper, 5" Resolution: 0.65㎛ D.O.F: range ≥ 1.5 ㎛ Lens distortion: ≤±0.09 ㎛ Focus stability: ≤0.6 ㎛ Wafer flatness: ≤3 ㎛ Uniformity: ≤±2.0% Reticle rotation accuracy: ±0.02 ㎛ Overlay: |X| + 3σ ≤ 0.2㎛ EGA alignment accuracy: |X| + 3σ ≤ 0.14 ㎛ Stepping accuracy: 3σ ≤ 0.09 ㎛ Pre-alignment repeatability: 3σ ≤ 2 5㎛ Utilities: Electrical power: 200V±20 V, 3 Phase, 50 A, 50/60 Hz Air: ≥3 kg/cm2, 5 L/min, 1/4" Vacuum: ≤300 mmHg, 50 L/min, 1/4" PCW: 16°-32°C, ≥3 kg/c, 18 L/min, 1/2" Thermal exhaust: 1000L/min, 125mm Drain: 1".
NIKON NSR 1505 G6E ist ein Multi-Feld, High-End-Wafer Stepper entwickelt, um fortschrittliche Halbleiterschaltungen Fertigung zu erleichtern. Mit seiner hohen Präzision und wiederholbaren Genauigkeit bietet es hervorragende Leistung für eine breite Palette von Gerätetypen. NIKON NSR-1505G6E verwendet 4x und 5x Scan-Belichtungsmodi, um es für jedes Gerät oder jede Anwendung geeignet zu machen. Die verschiedenen verfügbaren Projektionsobjektive - darunter zwei asphärische Objektive, ein telezentrisches Objektiv und ein ultra-telezentrisches Objektiv - liefern äußerst genaue Ergebnisse über eine Vielzahl von Brennweiten. Das Gerät verfügt auch über einen Objektivabtastmodus, der die Effizienz der Scanbelichtung erhöht, indem in einem Schritt mehrere Belichtungen durchgeführt werden. NSR 1505 G6E wurde entwickelt, um in einer Reinraumumumgebung mit einem hohen Grad an Vakuumsteuerung zu arbeiten. Die Steuereinrichtung beinhaltet eine ultra-niedrige Partikel-Sensoreinheit, die die Partikelkonzentration in der Luft im Stepper überwacht. Dies bietet eine kontinuierliche Kontrolle für eine stabile und saubere Betriebsumgebung. NSR-1505G6E verfügt über mehrere benutzeroptionale Funktionen, mit denen der Endbenutzer das Gerät an seine spezifischen Anforderungen anpassen kann. Eine dieser Optionen ist eine effiziente Belichtungsstrategie, die eine Kombination aus hochauflösenden Vignettierungs- und Optimierungsfunktionen verwendet. Dies trägt dazu bei, die Anzahl der optischen Effekte zu reduzieren, die durch Fehlausrichtung oder Aberration verursacht werden, was eine hohe Genauigkeit bietet. NIKON NSR 1505 G6E kann eine Vielzahl von Halbteilungsgeometriemustern akzeptieren, einschließlich Linienabstand und schräge Linien, um eine Reihe von Anwendungen zu unterstützen. Weitere Funktionen sind automatische Ausrichtungs- und Zentrierroutinen sowie Inline-Testfunktionen, die schnelle Tests zur Validierung der Wafer-Prozessergebnisse bieten. NIKON NSR-1505G6E enthält verschiedene optionale Automatisierungspakete, die die Systemgenauigkeit und Produktivität erhöhen. Dazu gehören eine leistungsstarke mehrspurige Stufe, die es dem Stepper ermöglicht, sich schneller und präziser zu bewegen, und eine Vision-Ausrichtungseinheit, die eingehende Wafer mit gespeicherten Referenzbildern misst und vergleicht. Der Stepper kann auch in bestehende Produktionsanlagen integriert werden, um den Workflow zu rationalisieren, Ausfallzeiten zu reduzieren und die Betriebseffizienz zu optimieren. Insgesamt ist NSR 1505 G6E ein leistungsstarker und präziser Stepper, der hervorragende Ergebnisse für die Waferbearbeitung liefert. Seine Multifeldoptik und Vakuumsteuermaschine machen es zu einer guten Wahl für die High-End-Wafer-Herstellung. Die verschiedenen Automatisierungspakete und andere Benutzeroptionen machen es oft zur ersten Wahl für die fortschrittliche Halbleiterproduktion.
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