Gebraucht PRECISION / GCA 19 #9081984 zu verkaufen

PRECISION / GCA 19
Hersteller
PRECISION / GCA
Modell
19
ID: 9081984
Vacuum oven Temperature: 35° - 200°C P/N: 600121259.
PRÄZISION / GCA 19 ist eine fortgeschrittene Automationshalbleitersteindruckverfahrenoblatentretenausrüstung. Dieses Gerät ist Teil einer Produktionslinie integrierter Schaltungen (ICs), die Photolithographie, Maskenausrichtung und automatisiertes Wafer-Handling in einem System kombiniert. Der große Rahmen von GCA 19 misst rund 116 cm in der Höhe, 203 cm in der Breite und 41 cm in der Tiefe. Es verfügt über 5 Bewegungsachsen (X, Y und Z-Achsen und zwei Theta-Achsen) für die Stufe, die zum Ausrichten des Wafers verwendet wird. Die beiden Theta-Achsen geben der Einheit die Möglichkeiten, die Waferebene zu drehen und zu neigen und sie in verschiedene Winkel für die automatische Ausrichtung zu bewegen. Die Maschine verwendet Licht, das von der Maske reflektiert und auf den Wafer gerichtet wird, um Ausrichtung und Lithographie zu erzeugen. Es verwendet ein Dreipunkt-geometrisches KE-basiertes Ausrichtwerkzeug und eine patentierte' plane rotation '-Technik, die Wafer mit zwei Winkelneigungen und zwei seitlichen Drehachsen genau ausrichten und positionieren kann. Die Dreipunkt-Geometrie ermöglicht eine präzise Ausrichtung von Mustern und eine genaue Überlagerung verschiedener Wafer. Zur Beleuchtung verwendet PRECISION 19 auch einen intern gekühlten Argon/Fluorid-Laser mit ultrakurzer Impulslänge, der eine maximale Belichtung der Waferoberfläche ohne die Gefahr der Erwärmung oder Beschädigung des Materials ermöglicht. Das Lasermodell ist auch in der Lage, Wafer in verschiedenen Wellenlängenbereichen zu belichten, was eine bessere Handhabung mehrerer verschiedener Materialien und Schichten ermöglicht. Das Gerät verfügt über einen integrierten Hochgeschwindigkeits-Ausrichtungsumfang, der ein automatisiertes System ermöglicht, das einen schnellen und genauen Betrieb ermöglicht. Darüber hinaus verwendet das Gerät mehrere Sensoren zur Überwachung und Einstellung des Belichtungspegels des Lasers und verfügt über eine große Touchscreen-Schnittstelle für die Benutzereingabe. So können Bediener verschiedene Produktionsstufen steuern und zuverlässige Ergebnisse erzielen. Kurz gesagt, 19 ist eine zuverlässige und genaue Produktionslinie Wafer-Stufenmaschine, die Licht und Laserinstrumente verwendet, um Wafer genau auszurichten und zu lithographieren. Mit Funktionen wie dem eingebauten, schnellen Ausrichtungsumfang und dem internen Kühlwerkzeug ist PRECISION/GCA 19 für eine schnelle und präzise Produktion ausgelegt.
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