Gebraucht ULTRATECH 1100 #9151421 zu verkaufen

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ULTRATECH 1100
Verkauft
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1100
ID: 9151421
Wafergröße: 4"
Steppers, 4".
ULTRATECH 1100 Wafer Stepper ist eine vollautomatische und hochpräzise Maschine zur Übertragung von Nanopattern auf Halbleiterscheiben in der Mikrolithographie. Dieser Stepper verwendet Deep-UV-Laser, um eine Reihe von mikroskopischen Mustern auf der Oberfläche des Substrats zu erzeugen. Das Gerät besteht aus zwei Hauptteilen: dem Scanner und der Endstation. 1100 Scanner umfasst drei verschiedene Stufen: das Projektionsobjektiv, die Bildaufnahmestufe und die Dropdown-Minderungsstufe. Die Projektionslinse lenkt einen fokussierten Lichtstrahl aus einem hochintensiven Deep-UV-Laser auf die auf der Bildaufnahmebühne befindliche Maske. Dadurch wird ein Gerätemuster auf die Aufzeichnungsstufe neu erzeugt, das dann automatisch synchron zur Dropdown-Minderungsstufe bewegt wird. Dieser Stepper hat den Vorteil, dass er bei einer Wellenlänge von 248 nm arbeitet, mit einer Bildauflösung von bis zu 0,25 µm. Durch den Einsatz eines Deep-UV-Lasers ist ULTRATECH 1100 in der Lage, Nanomuster in Strukturen mit einem Seitenverhältnis von 20:1 zu übertragen. Je nach gewünschter Mustergröße ist auch die Laserpulslänge des Systems im Bereich von 8 bis 32 Mikrosekunden einstellbar. Darüber hinaus verfügt 1100 über eine Prozesssteuerungsschicht, die den Prozess des Maschinenaufbaus automatisiert. Durch diese Funktion entfällt die manuelle Maskenausrichtung und es können während der gesamten Ausführung konsistente Prozessparameter verwendet werden. ULTRATECH 1100 Wafer Stepper ist mit modernster Optik ausgestattet, um eine hohe optische Leistung während der gesamten Lebensdauer der Maschine zu erhalten. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine eingebaute Sicherheitsmaschine, die mögliche Ausfälle erkennt und automatisch kompensiert, um einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. 1100 ist ein All-in-One-Wafer-Stepper, der eine Deep-UV-Laserquelle und eine fortschrittliche Optik verwendet, um nanoskalige Muster genau auf Halbleiterscheiben zu übertragen. Der vollautomatische Betrieb dieses Tools ermöglicht konsistente Prozessparameter, während seine Sicherheitsbestandteile einen zuverlässigen Betrieb gewährleisten. ULTRATECH 1100 ist die perfekte Wahl für die Mikrolithographie-Industrie aufgrund seiner fortschrittlichen Eigenschaften und beispielloser Präzision.
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