Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 575 #9132534 zu verkaufen

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ADE / KLA / TENCOR 575
Verkauft
ID: 9132534
Weinlese: 2005
Nitrogen cabinet system 2005 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 575 ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Inspektion und Kontrolle von Halbleiterscheiben. Dieses System ist in der Lage, die elektrischen, optischen und physikalischen Eigenschaften eines Halbleiterwafers bis zu einem Durchmesser von 5,75 Zoll zu messen. Die ADE 575-Einheit umfasst eine fortschrittliche optische Inspektionsmaschine, die mit einem ladungsgekoppelten Gerät (CCD) die Waferoberfläche scannt. Die CCD-Sensoren bieten eine genaue Inspektion sowohl der oberen als auch der unteren Oberfläche des Wafers, die Form und Größe sowie andere Merkmale wie Fehler erkennt. Das optische Werkzeug dient auch zur Messung der Reflektivität des Wafers und der seitlichen Porengrößen. Die Anlage KLA 575 umfasst eine elektrische Prüfstation, die elektrische Eigenschaften wie Widerstand, Stromleckage, Kapazität und Spannungsdurchbruch misst. Diese Teststation bietet auch eine schnelle, automatisierte Sortierung von guter und schlechter Matrize. In das Modell ist eine elektrische Sondenstation integriert, die die Sondierung einzelner Matrizen für Strom- und Widerstandstests ermöglicht. 575 Geräte umfassen auch eine Metrologiestation, mit der kritische Abmessungen wie Torlängen, Grabentiefen und Isolationsabstände gemessen werden. Hochgenaue Laserinterferometrie wird verwendet, um präzise 3D-Formen zu messen. Darüber hinaus verfügt das System TENCOR 575 über ein einzigartiges „Study Set“, mit dem komplexe Prozessstudien durchgeführt werden können. Diese Funktion ermöglicht die vollständige Charakterisierung einer Waferpartie mit Korrelationen zu Programmcode und genauer Analyse systematischer Faktoren. Diese Funktion unterstützt auch Datenüberprüfung und -analyse durch erweiterte Datenanalysefunktionen. Das ADE/KLA/TENCOR 575-Gerät bietet zudem ein komplettes Softwarepaket zur Steuerung, Testsequenzierung und Datenanalyse. Diese Software ist für die einfache Bedienung und Integration mit anderen Inline-Prozessen konzipiert. Die Software stellt außerdem sicher, dass alle gesammelten Daten automatisch gespeichert und zur Überprüfung bereitgestellt werden. Insgesamt ist ADE 575 eine Hochleistungs-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die für fortschrittliche Prozesssteuerung und -überwachung entwickelt wurde. Dieses Werkzeug ermöglicht eine flexible und präzise Messung der elektrischen, optischen und physikalischen Eigenschaften eines Halbleiterwafers. Darüber hinaus werden Datenüberprüfungen und -analysen durch erweiterte Software- und Datenanalysefunktionen bereitgestellt, die einen effizienten und zuverlässigen Betrieb gewährleisten.
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