Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9500 #9176508 zu verkaufen

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ADE / KLA / TENCOR 9500
Verkauft
ID: 9176508
Wafer flatness measuring system Single cassette on autoloader II ASC Controller.
ADE/KLA/TENCOR 9500 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Prüfung von Halbleiterscheiben auf Fehler und andere Eigenschaften. Das System verwendet eine fortschrittliche Kombination aus optischen, elektrischen und Lasertechnologien, um eine breite Palette von Merkmalen zu messen, einschließlich Wafer-Oberflächentopographie, Gleichmäßigkeit und kritische Dimension. Es besteht aus einem Mainframe, Optik, Lichtquellen und Computer-Controller. Die Optik umfasst Linsen, Spiegel, eine Abtasteinheit, Detektoreinheit und motorisierte POS-Stufen. Zum Großrechner gehören auch Laser-, Mikroskop-, Scanner- und Laserleistungen. Die Maschine ist in der Lage, auch mikroskopische Defekte am Wafer durch einen optischen Mikroskopievorgang zu erkennen. Es verwendet optische Abbildungstechniken, um die Waferoberfläche zu inspizieren. Mit der CCD-Kamera werden Bilder des Wafers erfasst, die dann vom eingebauten Bildprozessor verarbeitet und analysiert werden. Das Werkzeug ist in der Lage, die elektrischen Eigenschaften von Wafern mit seinen eingebauten elektronenstrahlinduzierten Komponenten (EBICs) zu testen. Mit diesen EBICs wird die Leitfähigkeit des Wafermaterials analysiert und die Geräteeigenschaften wie Schwellspannung und Verstärkung gemessen. Es ist auch in der Lage, die Leistungseigenschaften der Waferoberfläche mit hoher Präzision zu messen. Darüber hinaus unterstützt das Asset eine breite Palette von messtechnischen Fähigkeiten. Dazu gehören selektive Flächenlithographie, automatische Merkmalserkennung, Abscheidungsdickenmessungen und Overlay-Ausrichtung. Es ist auch in der Lage, die kristalline Struktur des Wafers durch die Algorithmen der Kristallmustererkennung und Differenzbildanalyse zu messen. Zum Mainframe gehören auch die Software-Tools für zuverlässige und automatische Messungen kritischer Dimensionen sowie für die Datenerfassung, -analyse, -speicherung und -verarbeitung. ADE 9500 ist ein äußerst zuverlässiges und präzises Prüf- und Messtechnikmodell für Wafer. Es bietet eine effiziente Lösung zur Überwachung der Leistungsfähigkeit und Qualitätssicherung von Halbleiterscheiben. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen kann es genaue und zuverlässige Ergebnisse für die Herstellung und das Design von Wafern liefern.
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