Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 9700 #9184638 zu verkaufen

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ADE / KLA / TENCOR 9700
Verkauft
ID: 9184638
Ultrascan wafer inspection system Dual cassette loader Controller: ASC-2000.
ADE/KLA/TENCOR 9700 ist eine Hochgeschwindigkeits- und Mehrkanal-Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es bietet eine breite Palette von Möglichkeiten zum Testen von Wafergeometrie und Oberflächenformelementen. ADE 9700 ermöglicht eine schnelle Inline-Messung von Wafern und enthält eine Vielzahl von optischen, elektrischen und mechanischen Subsystemen, um diese Tests durchzuführen. Herzstück der KLA 9700 ist die leistungsstarke und vielseitige Leistungs- und Messtechnik-Elektronik. Es enthält einen Hochleistungsgenerator mit bis zu drei gleichzeitigen Netzteilen, die bis zu 250W pro Kanal liefern können. Ebenfalls integriert ist ein 12-Bit-A/D-Wandler mit hoher Verstärkung mit bis zu 300 MHz Bandbreite. Diese ist mit einem 8-Bit-D/A-Wandler und einer Peltier-Kühleinheit kombiniert. Mit dieser Ausrüstung kann die Maschine als eigenständige Teststation verwendet werden, oder sie kann sich mit externen Geräten verbinden, um fortschrittlichere robotische Aufgaben auszuführen. TENCOR 9700 enthält auch ein hochgenaues Nanoschrittwerkzeug zur Präzisionskontrolle von x-, y- und z-Achsbewegungen. Sein 4-Achsen-Nanoschritt-Asset verwendet Linearmotoren, die eine schnellere Reaktionszeit und höhere Genauigkeit ermöglichen. Auf diese Weise kann das Modell die geometrischen Merkmale des Wafers mit Mikron-Auflösung genau messen. 9700 Geräte verfügen auch über ein automatisiertes optisches Mikroskop. Diese 8-Megapixel-Kamera kann Funktionen auf der Waferoberfläche mit einer Genauigkeit von bis zu 0,5 Mikron erkennen. Es kann zur Oberflächenmessung und topographischen Analyse verwendet werden und ermöglicht eine schnelle Oberflächenmerkmalsprüfung. Darüber hinaus umfasst ADE/KLA/TENCOR 9700 eine Reihe integrierter Softwaremodule, die eine vollständige Palette von Messungen und Analysen ermöglichen. Die Software ermöglicht es dem System, Ebenheit, Rauheit, Tiefe und Widerstand mit beispielloser Genauigkeit zu messen. Es bietet auch Echtzeit-Feedback, das dem Benutzer die Möglichkeit gibt, rechtzeitige Entscheidungen zu treffen. Es ist auch in der Lage, parametrische Bilder zu analysieren, einschließlich Topographie, chromatische Bilder, FD-LIBS-Spektren und Atomkraft Mikrographen. ADE 9700 ist eine leistungsstarke und effiziente Einheit für die Prüfung und Messtechnik von Wafern. Seine Hochgeschwindigkeits- und Mehrkanal-Fähigkeiten, kombiniert mit seiner Reihe innovativer und genauer Module, ermöglichen schnelle und präzise Messungen für Wafergeometrie und Oberflächenmerkmale.
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