Gebraucht ADE / KLA / TENCOR UltraGage 9520 #9182330 zu verkaufen

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ID: 9182330
Wafer measurement system Includes: ASC Controller Dual autoloader.
ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine erstklassige Lösung für die Herstellung und Prüfung von Halbleiterbauelementen. Es verfügt über eine umfassende Palette fortschrittlicher messtechnischer Funktionen, mit denen Anwender die Qualität ihrer Substrate und Wafer während der Fertigungsprozesse genau messen und überwachen können. ADE UltraGage 9520 bietet die höchste Auflösung und Wiederholbarkeit in einem System seiner Art. KLA UltraGage 9520 verwendet 3D-Laserinterferometrie, um bis zu 10.000 Eigenschaften pro Wafer in Echtzeit zu messen. Das Gerät ist in der Lage, berührungslose Oberflächenabtastung mit einer Waferortungsgenauigkeit von ± 5 µm über den gesamten Wafer. Die Messdaten werden erfasst und in einer Datenbank gespeichert, so dass Benutzer Ergebnisse analysieren und ihre Prozesse nach Bedarf anpassen können, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu gewährleisten. TENCOR UltraGage 9520 ist auch in der Lage, mehrere Prozesse parallel zu steuern, um den Testprozess zu optimieren. Beispielsweise kann er so konfiguriert werden, dass er den Druck und die Temperatur des Prozesses genau steuert und Parameter für Gleichmäßigkeit, Dicke, Waferkantenausrichtung und andere spezifische Merkmale erfassen und einstellen kann. Die Maschine enthält benutzerdefinierbare Testprotokolle, Selbstkalibrierung und kann eine breite Palette von Substratmaterialien messen, einschließlich kristallines und nichtkristallines Silizium, Galliumnitrid und Siliziumcarbid. Darüber hinaus verfügt UltraGage 9520 über mehrere erweiterte Optikpakete, darunter ein Teil-Wafer-Bildgebungswerkzeug, das eine höhere Auflösung und eine genauere Bestimmung von Substratfehlern ermöglicht. Zum Asset gehört auch eine High-Speed-USB-optische Schnittstelle, die Daten bis zu 10 Megabit pro Sekunde übertragen kann. Diese Funktion reduziert die Zeit für die Anzeige von Messungen und die Anpassung der Verarbeitungsparameter erheblich. ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520 bietet erstklassige Genauigkeit und Wiederholbarkeit, so dass Hersteller Substrateigenschaften genauer als je zuvor identifizieren und charakterisieren können. Diese überlegene Präzision ermöglicht es Anwendern, die Qualität ihrer Substrate zu verbessern und die Ausbeute ihrer Produktion zu erhöhen. Darüber hinaus ist das Modell in der Lage, ein großes Volumen an Wafern schnell und effizient zu handhaben - während sein fortschrittliches ergonomisches Design auch bei langen Testzyklen für Komfort und Benutzerfreundlichkeit sorgt.
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