Gebraucht ADE / KLA / TENCOR Ultragage 9500 #9182331 zu verkaufen

ADE/KLA/TENCOR Ultragage 9500 ist eine umfassende Wafer-Prüf- und Messtechnik für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es ist in der Lage, dünne Filme bis zu einer Dicke von 0,5 mm zu testen und zu messen, besteht aus zwei bildgebenden Systemen und kann Daten mit hochpräzisem 3D-berührungslosem Scannen sammeln. Es ist besonders bekannt für seine Fähigkeit, glänzende oder reflektierende Oberflächen mit maximaler Genauigkeit und Auflösung abzubilden. Das System kann eine Vielzahl von Tests durchführen, einschließlich elektrischer Charakterisierung, elektrischer Fehleranalyse und Fehlerverfolgung, und kann auch verwendet werden, um Verschmutzungen im Wafer zu identifizieren. ADE Ultragage 9500 verfügt über eine vollautomatisierte optische Einheit mit motorisiertem Fokus, Schrittmotoren für X-, Y- und Z-Bewegung und eine grafische Benutzeroberfläche (GUI), die den Benutzern einen interaktiven Blick auf den Wafer und die Messungen bietet. Es kann hochauflösende Filmdicken mit einer Auflösung von 1 Nanometer messen und Mikrokantendefekte in 1,4-Mikron-Linien mit wiederholbarer Genauigkeit genau messen. Darüber hinaus kann es Vollfeldmessergebnisse sowohl für Scan- als auch für Nicht-Scan-Messungen erhalten, was eine tiefgehende Wafer-Charakterisierung ermöglicht. KLA Ultragage 9500 verfügt auch über eine vollautomatische 3D-Topographie-Fähigkeit, die die Messung von erhöhten Funktionen bis zu 100 Nanometer Größe ermöglicht. Es ist mit automatisierten Fehlererkennungs- und Analysewerkzeugen ausgestattet, die die Inspektion von isolierten Einzelpunktfehlern und Ausrichtungsmustern ermöglichen. Darüber hinaus verfügt es über eine semiautomatisierte Bildanalyse (SMIA) -Funktion, die verwendet werden kann, um kritische Dendriten, parasitäre laterale Überwälder und andere Defekte zu identifizieren und Benutzern die tiefgreifendste Erkennung und Analyse von Wafereigenschaften zu ermöglichen. Darüber hinaus kann Ultragage 9500 sowohl für Inline-Produktions- als auch für Maschinen-F & E-Anwendungen konfiguriert werden und bietet erweiterte In-Service-Diagnose- und Prozessfähigkeiten. Es ist ein kostengünstiger Weg, um umfassende Wafer-Tests und Messungen zu erreichen, und ist als solches für viele fortgeschrittene Halbleiterprozesse anwendbar.