Gebraucht FARO 3D Platinum #9006174 zu verkaufen

FARO 3D Platinum ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für die Präzisionsmessung und Prüfung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es liefert präzise Messungen in X- und Y-Richtung sowie Tiefe in Z-Richtung. Es basiert auf einer Hochleistungsluftpolsterscan-Plattform und vereinigt einen Präzisionslaser interferometer für die genaue Bewegungskontrolle. Das Laserinterferometer misst die Relativbewegungen in drei orthogonalen Richtungen und die Beschleunigung, Verzögerung und Bewegungsrichtung. Sein optisches Messsystem basiert auf fortschrittlicher konfokaler Technologie und ist in der Lage, Profil und Form, Höhe und Rauheit von Wafern präzise zu messen sowie Ungleichmäßigkeiten zu erkennen. Seine einzigartige optische Einheit bietet 3D-Messungen mit zuverlässiger Genauigkeit und Wiederholbarkeit, während sein großer Abtastbereich nicht nur alle Halbleiterscheibengrößen abdeckt, sondern auch die Flexibilität bietet, künftigen Halbleitertrends gerecht zu werden. Die 3D Platinum-Maschine ist mit einer branchenführenden automatisierten Messtechnik-Softwareschnittstelle mit umfassenden Komponenten-Test- und Inspektionsmöglichkeiten integriert. Dazu gehören Prozessparameterüberwachung, Fehleranalyse, hochauflösende Bildgebung und automatische Fehlerkategorisierung sowie 3D-Analyse fortschrittlicher Komponentenmerkmale. Das komplette Tool, Hardware und Software, ist für die Integration in einen kompletten Inline-Prozess konzipiert. Es ist in der Lage, Wafer vor Beginn eines Prozesses zu erkennen und abzulehnen und/oder Wafer nach der Lithographie und/oder nach dem CMP zu inspizieren. Die Ergebnisse der automatisierten messtechnischen Messungen können datenlogisiert und zur Inline-Prozesssteuerung sowie zur statistischen Prozesssteuerung verwendet werden. FARO 3D Platinum Asset erfüllt die Anforderungen der strengsten Industriestandards wie SEMI 1463 und IEO 715. Es ist für zuverlässige Leistung und Stabilität ausgelegt, mit einem robusten Controller und hoher Abtastrate. Es hilft Herstellern, die Anforderungen unternehmenskritischer Spezifikationen zu erfüllen und eine konsistente Leistung in einer sicheren Fertigungsumgebung zu erhalten.