Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9075411 zu verkaufen

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TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000
Verkauft
ID: 9075411
Wet station, oxide etch.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000 ist eine nasse Workstation, die eine Vielzahl von mikrostrukturierten Substraten verarbeitet, wie Siliziumscheiben, Retikel und Glasschieber. Es ist ein vielseitiges, benutzerfreundliches Gerät, das drei unterschiedliche physikalische und chemische Prozesse kombiniert, die für die Herstellung von Geräten im Mikromaßstab unerlässlich sind. Das erste Verfahren ist das Naßätzen, das verwendet wird, um unerwünschtes Material aus vordefinierten Substratbereichen zu entfernen. Ermöglicht wird dies durch ein präzise kontrolliertes Sprühen von wässrigen oder organischen Ätzlösungen, die Schichten von Materialien wie Siliziumdioxid und andere Dielektrika empfindlich wegätzen. TEL UW-8000 ist mit verschiedenen Düsen zur optimalen Verteilung des Ätzmittels über die Substratoberfläche ausgestattet, um Gleichmäßigkeit und Integrität der abgeschiedenen oder geätzten Muster zu gewährleisten. Der zweite Prozess ist die Nassreinigung. Dies ermöglicht eine sichere und effiziente Reinigung der geätzten Materialien von der Substratoberfläche vor der Weiterverarbeitung. Dies geschieht durch die Verwendung eines einstellbaren Flüssigkeitsstrahls, der eingestellt werden kann, um eine Reihe unterschiedlicher Sprüheigenschaften zu erzeugen, um unerwünschte Partikel und den Aufbau von der Substratoberfläche effektiv zu entfernen. Schließlich erleichtert TOKYO ELECTRON UW 8000 auch die Nassbeschichtung, mit der gewünschte Materialien auf dem Substrat abgeschieden werden. Dies wird durch den Einsatz von speziell konstruierten Düsen erreicht, die wässrige oder lösemittelbasierte Lösungen mit ausgezeichneter Präzision an die gewünschten Substratstellen abgeben. Zusammenfassend stellt UW 8000 eine leistungsstarke und zuverlässige Nassarbeitsstation dar, die die drei wesentlichen physikalischen und chemischen Prozesse des Nassätzens, der Nassreinigung und der Nassbeschichtung nahtlos kombiniert, um die Herstellung von Mikrobauteilen zu ermöglichen. Sein benutzerfreundliches Design und seine unübertroffene Geschicklichkeit bei der Steuerung dieser Prozesse machen es zu einer optimalen Wahl für eine Vielzahl von mikrostrukturierten Substratanwendungen.
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