Gebraucht ASM A 412 #9097361 zu verkaufen

ASM A 412 ist ein Diffusionsofen und Zubehör aus mehreren Komponenten. Es ist für den Einsatz in Halbleiterherstellungsanwendungen wie Diffusion von Dotierstoffen, Oxidation von Wafern und schnelle thermische Verarbeitung konzipiert. Der Diffusionsofen ist eine große zylindrische Vakuumkammer. Die Kammer hat eine variable Breite für Wafergrößen bis 600 mm. Das System verwendet proprietäre laterale Heiz- und Gleichmäßigkeitstechnologie, um ein gleichmäßiges Temperaturprofil über die Oberfläche des Wafers zu erzeugen. Der Ofen beinhaltet außerdem eine Vakuummesseinheit sowie Steuerungen zur Einstellung von Prozessparametern und zur Überwachung von Prozessdaten. ASM A412 Maschine enthält auch eine Reihe von Zubehör. Ein Drehtisch in der Kammer erleichtert das Be- und Entladen der Waferträger mit jeweils bis zu vier Wafern. Ein Roboterarm unterstützt das Einführen und Entfernen der Wafer in und aus der Kammer. Der Roboterarm verwendet ein proprietäres optisches Tracking-Tool, um eine genaue Positionierung der Wafer für die Verarbeitung zu gewährleisten. Ein 412-Asset verfügt über eine Reihe von Funktionen und Optionen, um eine zuverlässige und sichere Leistung zu gewährleisten. Ein integriertes Sicherheitsverriegelungsmodell ermöglicht das Abschalten der Ausrüstung, wenn Fehler oder Unregelmäßigkeiten während der Verarbeitung erkannt werden. Eine wassergekühlte Spüle wird eingebaut, um Wärme aus der Kammer zu entnehmen und sicherzustellen, dass die Temperaturen in zulässigen Grenzen bleiben. Das System umfasst auch einen automatischen Gasdurchsatz und eine Bestelleinheit, die sicherstellt, dass das Argon und andere Gase mit der richtigen Geschwindigkeit für die Anwendung zugeführt werden. Das PROCEASE Fusion 2 Softwarepaket begleitet A412 Maschine und bietet eine benutzerfreundliche und intuitive grafische Oberfläche zur Einstellung von Prozessparametern und zur Überwachung der Werkzeugleistung. Ein integriertes Softwaresteuerungsmodul bietet Fernzugriff und ermöglicht die Asset-Steuerung von jedem Ort aus. Die Software enthält auch erweiterte Optionen wie ein Automatisierungsmodell, mit dem Rezepte für bestimmte Prozesse angepasst werden können. ASM A 412 Diffusionsofen und Zubehör ist für einfache Bedienung und optimierte Leistung konzipiert. Das System ist sehr zuverlässig und bietet eine hervorragende Wiederholbarkeit im Vergleich zu anderen Diffusionsöfen seiner Klasse. Mit seinen umfassenden Steuerungsfunktionen, der verbesserten Wärmeeinheitlichkeit und dem komfortablen Softwarepaket ist dieser Diffusionsofen ideal für viele Halbleiteranwendungen.