Gebraucht ASM A 600 UHV #195781 zu verkaufen

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ASM A 600 UHV
Verkauft
ID: 195781
Selective deposition LPCVD systems, 8" Process: SiH4 / Ph3 anneal, (2) chambers Software version: Windows NTVer.4.0 Service Pack 4 OS9 Ver.3.03 Vacuum pump included 1999 vintage.
ASM A 600 UHV ist ein Diffusionsofen und Zubehör-Set, das für die Ultrahochvakuum (UHV) -Aufbereitung, Verarbeitung und Dünnschichtabscheidung entwickelt wurde. Es besteht aus einer Vakuumkammer, elektrischen Heizelementen, Stromversorgungen, Sicherheitsverriegelungen, digitalen Laststeuergeräten und einem automatisierten Abscheidesteuermodul. Die Vakuumkammer ist aus Edelstahl gefertigt und zylindrisch mit einem Innendurchmesser von 600mm ausgebildet. Es ist mit zwei wassergekühlten Kühlfallen ausgestattet, die oben und unten montiert sind, um zu verhindern, dass Wasserdampf das Substrat erreicht. Die elektrischen Heizelemente des A 600 UHV sind Borosilikatglasröhren mit eingebetteten Nichromelementen. Diese Nichrom-Elemente sind in Reihe mit einer Stromversorgungseinheit verbunden, wodurch die Temperatur innerhalb der Vakuumkammer präzise manipuliert werden kann. Die Netzteile sind in die Kammerwand eingebettet, was eine Isolierung und sichere Steuerung der Heizelemente ermöglicht. Das Steuerungssystem verwendet digitale Lastregler und PID (Proportional Integral Derivative) -Algorithmen, die die Temperatur mit einer Genauigkeit von 0,1 Grad C überwachen und einstellen. ASM A 600 UHV verfügt außerdem über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, die zum Schutz von Personal und Ausrüstung entwickelt wurden. Dazu gehören über Temperaturregelung, Not-Aus, Drucksicherheitsverriegelung und Stromversorgungssperre. Zusätzlich ist die gesamte Einheit für den Betrieb mit einem Druck von UHV (10 ^ -11 bis 10 ^ -9 Atmosphären) ausgelegt. Dadurch wird eine extrem geringe Kontaminationsumgebung für die Oberflächenvorbereitung geschaffen. Die Endkomponente des Sets ist ein automatisiertes Abscheidesteuerungsmodul. Dieses Modul ermöglicht mehrere Abscheidezyklen mit präziser Steuerung der Abscheidezeit und der Gasströme. Es ist mit einer automatischen Initialisierungsfunktion ausgestattet, die die exakte Steuerung der Prozessparameter unterstützt. Dies gewährleistet wiederholbare und konsistente Abscheidungsergebnisse. Abschließend ist A 600 UHV eine zuverlässige, vielseitige Ultrahochvakuummaschine, die speziell für Abscheide- und Beschichtungsprozesse entwickelt wurde. Es verfügt über eine Reihe von Funktionen, wie digitale Temperatur- und Druckregelung, Sicherheitsverriegelungen und automatisierte Abscheidungssteuerung, die helfen, Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu erhalten. Diese Eigenschaften machen es zu einer idealen Wahl für Industrie- und Laboranwendungen.
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