Gebraucht KOKUSAI DD-802V-B #9044527 zu verkaufen

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KOKUSAI DD-802V-B
Verkauft
ID: 9044527
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1990
Diffusion furnaces, 6", 1990 vintage.
KOKUSAI DD-802V-B ist ein Diffusionsofen und Zubehör Ausrüstung entwickelt, um eine effiziente und kostengünstige Produktion von fortschrittlichen Halbleiterprodukten zu bieten. Es besteht aus Prozesskammern, Waferbooten, thermischen Heizelementen, Pumpen und Prozesskammern mit integrierten Quarzrohren. Die Hauptprozesskammer besteht aus Edelstahl und hat ein Volumen von 47 Litern. Die Kammer ist mit einem Behälter mit einer maximalen Temperatur von 1200 ° C ausgestattet. Das Waferboot verfügt über drei Temperaturzonen von 300 ° C bis 1200 ° C und ermöglicht eine effiziente Prozesskontrolle während der Waferproduktion. Die Heizelemente sorgen für eine homogene Erwärmung des Waferbootes während des Diffusionsprozesses. Das integrale Quarzrohr erleichtert die Dotierung auf der Waferoberfläche während des Diffusionsprozesses. Das Quarzrohr weist eine Temperaturstabilität von 1 ° C auf, und das Innenvolumen des Rohres kann zur Erhöhung oder Verminderung des Dotierungsprozesses eingestellt werden. Zusätzlich gibt es eine Pumpe, die in die Prozesskammer integriert ist. Diese Pumpe wird verwendet, um einen effektiven Fluss von Chemikalien während des Diffusionsprozesses zu gewährleisten. Die Prozesskammer von KOKUSAI DD-802VB ist mit drei Gaseingängen ausgestattet. Dies wird verwendet, um das Verfahren an verschiedenen Atmosphären, wie Reduktion, Oxidation und inerte laufen zu lassen. Neben Gaseingängen umfasst das Verfahren auch eine Druck- und Temperaturüberwachung, die eine genaue Kontrolle der Diffusionsatmosphäre ermöglicht. Das System ist mit Sicherheitsmerkmalen wie einem Thermoelement ausgestattet, das mit dem Waferboot und der Prozesskammer verbunden ist, um die Temperaturen beider während des Produktionsprozesses zu überwachen. Darüber hinaus wird eine Gas/Luft-Strömungseinheit verwendet, um eine sichere und effiziente Beseitigung schädlicher Emissionen während des Prozesses zu gewährleisten. Insgesamt ist DD-802V-B eine zuverlässige und effiziente Diffusionsofen- und Zubehörmaschine. Es wurde entwickelt, um eine kostengünstige Produktion von fortschrittlichen Halbleiterprodukten bereitzustellen, wodurch Unternehmen ihre Produktqualität steigern und die Betriebskosten senken können. Es bietet verschiedene Sicherheitsmerkmale, um eine sichere Arbeitsumgebung für die Betreiber zu gewährleisten. Das integrale Quarzrohr ermöglicht eine komfortable Dotierung, erhöhte Temperaturstabilität und eine verbesserte Kontrolle der Diffusionsatmosphäre.
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