Gebraucht SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300 #9075734 zu verkaufen

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SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300
Verkauft
ID: 9075734
Wafergröße: 12"
TEOS Furnaces, 12" Currently in fab.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP 300 ist ein hochwertiger Diffusionsofen und Zubehör für thermische und elektrische Verarbeitungsanwendungen in professionellen Laboreinstellungen. Diese Kombinationsausrüstung umfasst eine vakuumdichte Prozesskammer mit einer Kapazität von bis zu 300 cm ³, eine Festkörper-Prozesssteuerung und eine Vielzahl weiterer Komponenten, um fortschrittliche Prozesse zu erleichtern. Die Prozesskammer besteht aus hochwärmeleitendem Material und ist für einen höheren Wirkungsgrad unter Verwendung von HF-Heizung ausgelegt. Es ist auch kompatibel mit thermisch leitfähigem Gas, das für schnelle thermische Prozesse verwendet werden kann, und eine schnelle Rampenheizfähigkeit von 600 ° C/Sekunde für erhöhten Durchsatz. Für Anwendungen, die eine präzise Temperaturregelung erfordern, kann der Prozessregler eine präzise Temperaturregelung mit einer Zielgenauigkeit von ± 0,5 ° C bereitstellen. Es ist in der Lage, sowohl Prozesskammertemperatur und Gasdruck zu überwachen, und verfügt über Überhitzungsschutz für die Sicherheit. Weitere Merkmale dieses Systems sind ein automatisierter, kontinuierlicher Vakuumzyklus mit einer Kammerpumpgeschwindigkeit von 10 m3/h, ein Kammerdruckbereich von 100 mTorr bis 8016 mTorr und ein drehbarer Antrieb zum Be- und Entladen von Wafer/Dummy. Sowohl Wafer- als auch Dummy-Ladeanschlüsse sind vorhanden, und die einstellbare Geschwindigkeit des Laufwerks erleichtert das Be- und Entladen. Das Gerät umfasst auch eine Temperatureinlassversorgung für die Gasheizung und ein 6-Szenen-programmierbares Gasmischpult mit bis zu 1800 ° C. Es ermöglicht eine präzise Steuerung von Prozessgasen, um die gewünschten thermischen Effekte während der Verarbeitung zu erzeugen. Ein integrierter Gaswäscher ermöglicht auch die Entfernung von nicht umgesetztem Gas nach Abschluss eines Prozesses. Insgesamt ist SVG RVP 300 Diffusionsofen und Zubehör eine zuverlässige und vielseitige Maschine, die eine breite Palette von Funktionen bietet, um verschiedene thermische Prozesse zu erleichtern. Es ist eine ideale Lösung für professionelle Labore, die einen zuverlässigen und genauen Diffusionsofen und Zubehör benötigen.
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