Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #101184 zu verkaufen

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ID: 101184
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
LPCVD Nitride Furnace, 12" Dual FOUP WAVES Controller UP box Boat elevator with tube shutter Cassette load automation Boat rotation Gasses Dichlorsilane (DCS) NH3 N2 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein Diffusionsofen und begleitendes Zubehör für die Halbleiterherstellung. Dieses fortschrittliche Automatisierungswerkzeug wurde entwickelt, um Halbleiterätzprozesse zu verbessern und wird in Forschungs- und Produktionsanlagen auf der ganzen Welt eingesetzt. TEL ALPHA-303I hat die Fähigkeit, schnell zu erhitzen und mit präziser Steuerung abzukühlen. Es ist auch in der Lage, schnelle Gasdurchsatz-, Temperatur- und Druckänderungen. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I besteht aus einem Diffusionsofen, Drehantrieb für Dreh- und Linearbewegung, Richtschlössern und einem Controller mit Bedienoberfläche. Der Diffusionsofen besteht aus mehreren Heizzonen und einer Temperatur/Kühleinheit. Die Temperatur/Kühleinheit ist eine digital gesteuerte thermische Umgebung, mit der die Temperatur des Ofens und seiner Komponenten präzise gesteuert wird. Die Richtverriegelungen ermöglichen die Beseitigung der mechanischen Lockerheit und können für stabilere Tiefenätzprofile sorgen. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I hat auch einen Controller mit Benutzeroberfläche. Diese Schnittstelle ermöglicht es dem Benutzer, Parameter einzugeben und den Fortschritt des Geräts zu überwachen. Beispielsweise können Benutzer die Temperatur, den Druck, den Gasfluss und andere Parameter vor, während und nach dem Ätzvorgang überwachen. Darüber hinaus verfügt die Steuerung über eingebaute Sicherheitsmerkmale, die sicherstellen, dass das Gerät stabil, wiederholbar und reproduzierbar arbeitet. Um eine reibungslose dynamische Leistung zu gewährleisten, verfügt TEL ALPHA 303 I auch über eine Reihe von Funktionen. Dazu gehören ein Shuttle-System für schnelle Heizung und Kühlung, eine Helium-Unterstützung für schnelle Temperaturänderungen, ein fortschrittliches Rezirkulationssystem für gleichmäßige bearbeitete Substrate und eine flüssige Stickstoffpistole für einfachen Stickstofffluss. Dieser moderne Diffusionsofen ist für den Einsatz in High-End-Anlagen in Forschung und Produktion. Mit seinen verbesserten Sicherheitsfunktionen und seinem fortschrittlichen Steuerungssystem ist ALPHA-303I ein leistungsstarkes Werkzeug zur Verbesserung von Ätzprozessen. Dieses Werkzeug eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen und ist eine ideale Wahl für die Verbesserung der Genauigkeit und Geschwindigkeit der Produktion.
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