Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #104721 zu verkaufen

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ID: 104721
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
High-temp furnace, 8" Process: Oxide 8 cassette stockers Frequency 60 Interface.-Cassette ¡V 8"-Phase -3 Voltage, 208V Facilities entry at bottom Wide Body style, Right sided Brooks 5964 MFCs MFC 7 HCl 1 slm MFC 6 O2 1 slm MFC 5 O2 20 slm MFC 4 H2 10 slm MFC 3 Ar 20 slm MFC 2 N2 5 slm MFC 1 N2 20 slm TS-4000SZ Furnace controller Varian TEL LR300 Temperature controller AP Tech O2 and H2 flow switches HEL Pyro Control Touch screen operator interface Load Size 100 wafers-(upgradeable 150) 1200 C Heater Core Lip Seal, Inner T/C, Linear aligner UP/DOWWN axis slide motions No variable pitch. Single or five (5) wafers Boat, CLN ON 07-00202 Cover, Pedestal 07-00204 Pedestal 07-00205 PFA tube (6.35x4.35x1.0T) 06-22014-00-16 inch process Tube Rapid Cooling System power rating: 3 Phase, 208 V, 60 Hz 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Mehrzonendiffusionsofen und sein Zubehör, das hauptsächlich in der Halbleiterverarbeitung verwendet wird. Der Ofen ist ein horizontal ausgerichteter, PC-gesteuerter Ofen, der aus einer inneren Prozesskammer und einer Außenschale besteht. TEL ALPHA-8S ist in der Lage, Kleinproben wie Werkstücke, Substrate und Werkzeuge mit einer maximalen Größe von 25mm x 25mm x 10mm zu bearbeiten. Die Prozesskammer ist aus Aluminiumlegierung aufgebaut und hat ein Innenvolumen von 640x550x3,5 mm (L × W × H). Die Heizzone besteht aus bis zu 6 Heizstationen mit oberen und unteren Ventilatoren, um die Temperatur für eine optimierte Gleichmäßigkeit zu regulieren. Die Heizelemente verwenden Kanthal Typ mit einer maximalen Leistung von 4kW. Der Ofen ist mit zwei unabhängigen Temperaturregelsystemen ausgestattet, eines für die stationäre Temperatur und das andere für das schnelle thermische Rampen oder Kühlen. Die Temperaturgenauigkeit beträgt ± 1 ° C im stationären Zustand und ± 3 ° C beim schnellen thermischen Rampen. Die Genauigkeit kann auch bei einer Temperaturerhöhung auf 200 ° C (392 ° F) eingehalten werden. Der Prozess von TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S wird durch den High-End-PC-Controller gesteuert, der eine schnelle Datenerfassung und -anzeige ermöglicht. Die Datenerfassung ist zuverlässig und intelligent mit mehreren Rezepturen und Parametern. Es bietet eine anspruchsvolle Benutzeroberfläche und Bedienmenüs, optimiert für eine schnelle und einfache Bedienung. Mit TEL ALPHA-8 S können auch andere Materialien wie Gold, Kupfer, Aluminium und Zinn verarbeitet werden. Der Diffusionsprozess von ALPHA-8 S kann an die Anforderungen des spezifischen Prozesses angepasst werden. Das Zubehör von TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S System umfasst einen manuell getesteten Gasdurchflussmesser, Gasspeicher, Wärmedämmdeckel, Gasdurchflussregler, Gasdruckschalter und eine Spülgasflasche. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ein Mehrzonendiffusionsofen mit einem Aluminiumlegierungsinnenraum für kleine Proben. Es verfügt über zwei unabhängige Temperaturregelungssysteme, einstellbare Lüfter für eine einheitliche Temperaturregelung, einen Hochleistungs-PC-Controller für Datenerfassung und -display und verschiedene anpassbare Prozesse. Das Zubehör hilft auch, die Leistung von ALPHA 8 S zu maximieren und macht es zu einer idealen Wahl für die Halbleiterwerkzeugbearbeitung.
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