Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190957 zu verkaufen

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ID: 190957
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Nitride furnace, 8" Specifications: Process: Nitride Software version: TS-4000-1996 Power: 110AC One Phase / 208 AC 3Ph Loading configuration: 6 loader Main system: TS4000 Controller Photohelic Gauge Boat Elevator Wafer Load Automation 16 Cassette stocker Temperature Controller (M121) Furnace Monitor, Power Control Unit Remote Utility & Gas Cabinet Inner T/C for Ration Mix HCL Detector Auto Shutter Gas system (NH3, DCS) Options: (1) Signal Tower (2) Pitch Change Mechanism (3) UPS (4) GEM Communication N2 Load Lock Ambient Control Option Load size 170 wafers Load lock purge system Process gas NH3, DCS Gas Type - Convention Gas System Tubing material - Stainless steel Tubing Finish - Electro-polish Manual valve - Fujikin Fitting Type - VCR/UJR Air-Operated valve - Fujikin Filter - Millipore Regulator - Veriflo MFC - Aera Pressure transducer - Millipore or NAGANO 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist in der Lage, Dampfphasenepitaxie (VPE), selektive thermische Oxidation und Siliziumnitrid-Abscheidung durchzuführen sowie LED-Umwandlungsprozesse zu automatisieren. Es verfügt über einen einfach zu bedienenden automatisierten Lader mit integrierten Computersteuerungssystemen zur präzisen Temperaturregelung und gleichmäßigen Waferbearbeitung. TEL ALPHA-8S verfügt über eine Standard-Hochtemperaturgrenze von 1250 Grad Celsius sowie ein Mehrzonen-Temperaturregelsystem zur Regelung der Temperatur über mehrere Bereiche. Das fortschrittliche energiesparende Design und die hochmodernen Hot-Zone-Materialien sorgen für hohe thermische Leistung und höhere Prozessgleichförmigkeit. Der Luftlagerspindelantrieb und das Tiefpunktfutter sorgen für präzise Substratpositionierung und Benutzerfreundlichkeit. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S verfügt außerdem über eine intuitive Mensch-Maschine-Schnittstelle (HMI) mit einer Reihe von Anzeigewerkzeugen, einschließlich Dual-6,5-Zoll-Monitoren und zoombarer GUI zur einfachen Überwachung der Prozessparameter. Weitere Merkmale sind die Multi-Thermal-Steuerung für LPH-Verarbeitungsanwendungen (Line and Point Heat) und die Fernwartung zur Vermeidung von Abscheidungsqualitätsschäden durch anormale Nutzung. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S verwendet fortschrittliche Technologie und proprietäre Software, um die Qualität der Produkte zu maximieren und gleichzeitig Effizienz, Kosteneinsparungen und optimale Leistung für Prozessoptimierung und Ertragskontrolle zu bieten. Seine geringe Reaktivität Aluminiumlegierung Kammer und gleichmäßige Wirbelstrom und luftgekühlte Abschirmung machen es ideal für Langlaufbetrieb. In Kombination mit dem preisgünstigen TEL-automatisierten Substratlader bietet ALPHA-8S Kunden ein integriertes Steuerungssystem für eine Knotenausgleichsumgebung, das eine optimale Prozessleistung gewährleistet.
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