Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190957 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 190957
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Nitride furnace, 8"
Specifications:
Process: Nitride
Software version: TS-4000-1996
Power: 110AC One Phase / 208 AC 3Ph
Loading configuration: 6 loader
Main system:
TS4000 Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
16 Cassette stocker
Temperature Controller (M121)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility & Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
HCL Detector
Auto Shutter
Gas system (NH3, DCS)
Options:
(1) Signal Tower
(2) Pitch Change Mechanism
(3) UPS
(4) GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control Option
Load size 170 wafers
Load lock purge system
Process gas NH3, DCS
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - Fujikin
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - Fujikin
Filter - Millipore
Regulator - Veriflo
MFC - Aera
Pressure transducer - Millipore or NAGANO
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist in der Lage, Dampfphasenepitaxie (VPE), selektive thermische Oxidation und Siliziumnitrid-Abscheidung durchzuführen sowie LED-Umwandlungsprozesse zu automatisieren. Es verfügt über einen einfach zu bedienenden automatisierten Lader mit integrierten Computersteuerungssystemen zur präzisen Temperaturregelung und gleichmäßigen Waferbearbeitung. TEL ALPHA-8S verfügt über eine Standard-Hochtemperaturgrenze von 1250 Grad Celsius sowie ein Mehrzonen-Temperaturregelsystem zur Regelung der Temperatur über mehrere Bereiche. Das fortschrittliche energiesparende Design und die hochmodernen Hot-Zone-Materialien sorgen für hohe thermische Leistung und höhere Prozessgleichförmigkeit. Der Luftlagerspindelantrieb und das Tiefpunktfutter sorgen für präzise Substratpositionierung und Benutzerfreundlichkeit. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S verfügt außerdem über eine intuitive Mensch-Maschine-Schnittstelle (HMI) mit einer Reihe von Anzeigewerkzeugen, einschließlich Dual-6,5-Zoll-Monitoren und zoombarer GUI zur einfachen Überwachung der Prozessparameter. Weitere Merkmale sind die Multi-Thermal-Steuerung für LPH-Verarbeitungsanwendungen (Line and Point Heat) und die Fernwartung zur Vermeidung von Abscheidungsqualitätsschäden durch anormale Nutzung. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S verwendet fortschrittliche Technologie und proprietäre Software, um die Qualität der Produkte zu maximieren und gleichzeitig Effizienz, Kosteneinsparungen und optimale Leistung für Prozessoptimierung und Ertragskontrolle zu bieten. Seine geringe Reaktivität Aluminiumlegierung Kammer und gleichmäßige Wirbelstrom und luftgekühlte Abschirmung machen es ideal für Langlaufbetrieb. In Kombination mit dem preisgünstigen TEL-automatisierten Substratlader bietet ALPHA-8S Kunden ein integriertes Steuerungssystem für eine Knotenausgleichsumgebung, das eine optimale Prozessleistung gewährleistet.
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