Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #116227 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 116227
VF LPCVD ASG furnace
SMIF Type: Asyst
SMIF indexer: 2
Cassette transfer: cassette transfer
Wafer transfer stage : 2 stage
Cassette stock: Stocker(21)
Boat process: one boat 2 batch process
Wafer transfer: FORK(5)
Process reactor: one reactor one system
Heater: Five zones
Boat position: cooling, process and loading position
TC position:
Paddle TC: Between outer and inner tube
Spike TC: on heater
Injector:
ASP: 6 injectors
ASG: 5 injectors
Process gas:
ASP: N2/SiH4/H2/0.7%AsH3/ClF3
ASG: N2/O2/TEOS/Teasat/ClF3
MFC: UNIT
Boat material:
ASP: SIC
ASG: Quartz
Boat slot:
ASP: 170
ASG: 129
Process tube: Quartz
Outer tube: Quartz
Inner tube: Quartz
CLF3 dry clean: Yes
PUMP: EDWARDS/EBARA
System controller: WAVES
Powered down.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein Hightech-Diffusionsofen und Zubehör für das Wachstum von Halbleiterbauelementen. Diese Anlage ist in der Lage, Schichten von Halbleitern schnell und präzise auf Substrate zu wachsen, um den hohen Anforderungen der modernen Elektronikfertigung gerecht zu werden. TEL ALPHA-8SE ist mit einem hochmodernen Schiff ausgestattet, das einen fortschrittlichen Strahlungsheizmechanismus enthält. Dieses Gefäß ermöglicht die gleichmäßige Erwärmung von Gasen im Gefäß und hilft stark bei der Schaffung einer optimalen Wachstumsumgebung für die Halbleiter. Dieses Merkmal ist besonders nützlich für das Wachstum von III-V-Materialien wie Galliumarsenid und Indiumphosphid. Neben dem fortschrittlichen Schiff implementiert TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE ein einzigartiges, vollautomatisches Steuerungssystem. Dieses Gerät bietet eine präzise Temperaturregelung sowie die Steuerung von Prozesszeiten, Gasströmen und anderen Bedingungen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über erweiterte Funktionen zur Kontrolle der Temperatur und Zusammensetzung der Wachstumsumgebung, so dass ihre vollständige Anpassung an die Anforderungen eines spezifischen Wachstumsprozesses erfolgt. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E kommt auch mit einem Touchscreen-Schnittstelle für einfache Bedienung und Datenerfassung. So können Anwender die Wachstumsumgebung während des Wachstumsprozesses genau überwachen und steuern. Die Grafikanzeige erhöht die Bedienbarkeit des Werkzeugs weiter, indem sie eine visuelle Darstellung der verschiedenen Parameter während des Wachstumsprozesses ermöglicht. Abschließend ist die ALPHA 8 SE ein extrem fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör. Seine fortschrittlichen Schiffs- und Vollautomatisierungsfunktionen ermöglichen eine präzise Steuerung der Wachstumsumgebung, wodurch das optimale Wachstum von Halbleitern gewährleistet ist. Die Touchscreen-Oberfläche und das Grafikdisplay verbessern die Benutzererfahrung weiter und ermöglichen es dem Bediener, das Modell während des Wachstumsprozesses einfach zu überwachen und zu steuern.
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