Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9099381 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9099381
Vertical diffusion furnace, 12"
Process: TEOS
(1) Heater element Model: Mid-Temp VMM-56-002 5zone/500-1000
Process Condition: LP
Maximum Operating Temperature: 1000°C
N2 Load Lock: Yes
Wafer Type: 300 SEMI STD-Notch
Qty. of Production Wafers: 117 slots Ladder
Boat Operation: (2) Boat Type / (2) Boat Operation
Software Version: 2.06
Furnace:
(1) Loading Area Light: White (LED)
Force Air Cooling system: None
Side Maintenance: None
(1) O2 Density control: NGK SH-304 STANDARD
(1) N2 Boat shower wafer cooling: installed
(1) Furnace Temperature Controller: M560A
Wafer/Carrier Handling:
Carrier Type: FOUP (25) slots (STD)
Carrier Stage Capacity: 16
(1) WTU Type: 1+4 Edge Grip
WTU alignment: None
WTU Teaching method: None
Gas Distribution:
IGS Maker / Type: AREA
IGS MFC Maker / Type: AREA (Gas Panel)
IGS Press Transducer Maker / Type: NAGANO
Exhaust:
Vacuum Gage - 2 torr: None
(1) Vacuum Gage - 10 torr: MYKROLIS CMLH-31-150S06
Vacuum Gage - 100 torr- None
(2) Vacuum Gage - 1000 torr: MYKROLIS CMLH-11-150S06
(1) Main Valve: MKS-99C1274
(1) Pump Maker/Model: EDWARDS IH-1800
Low vacuum valve: None
(1) Trap: Disk Trap
(1) Vacuum Pressure Controller: N2-ballast
Reactor:
(2) Process Tube (LP): Outer: ID448xH1360, Inner: Straight H1340
(2) Outer/Inner Tube Material (LP): Quartz
Inner Tube Type (AP): None
(1) Inner T/C: Outer Tube interior wall type
(2) Boat Material/Type: Quartz 117 slots Ladder (8mm pitch)
(1) Boat Rotation: installed
(1) Pedestal Materiel/Type: Quartz Sand blast OD300 H350 1fins
(1) Auto Shutter: installed
Power Distribution:
Voltage, 3 Phase: 208VAC
Voltage, Single Phase: 120VAC
Frequency: 60Hz
User Interface:
(2) Operation Panel: Front/rear Gas Box and Operation Panel Installed
(2) Indicator Type: Superset
Operation software type: Linux
(4) Gas Leak Detector Material/Type: Riken TEOS/CLF3
Dry pumps: not included.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein führender Diffusionsofen und Zubehör für fortschrittliche Halbleiterprozesse. TEL ALPHA-303I ist ein vielseitiger Hochgeschwindigkeits-Diffusionsofen von hoher Qualität, der zuverlässige Leistung, einstellbare Temperaturregelung und eine breite Palette von Funktionen für maximale Prozesswiederholbarkeit bietet. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I ist ein Einkammer-Ofen mit einer Quarzseitenwand und einer heißen Zonenkapazität von 455L. Dieser Diffusionsofen verfügt über eine geringe Wärmestrahlungsheizung, die zu schnellen Temperaturänderungen in der Lage ist. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I ist außerdem mit einem Drei-Zonen-Backsystem zur optimalen Regelung der Temperaturgleichförmigkeit innerhalb der Prozesskammer ausgestattet. Alpha 303i beinhaltet auch eine vertikale Probenladeeinheit, die den automatischen Transfer der Waferboote in die Prozesskammer ermöglicht. Das Waferboot kann automatisch auf zwei verschiedene Temperaturen angehoben werden, um den Kühlprozess zu optimieren. Zusätzlich kann die Temperatur der Prozesskammer entsprechend den Erfordernissen des Verfahrens voreingestellt werden. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I Maschine ist mit einem umfangreichen Sortiment an Zubehör ausgestattet, darunter ein geschlossenes Kühlwerkzeug. Diese Funktion hilft, die gewünschte Temperatur in der Prozesskammer zu halten, indem Sensoren verwendet werden, um die Temperatur des Prozessgases zu messen und zu steuern. TOKYO ELECTRON Alpha 303i verfügt auch über eine Reihe von Prozesskontrollmaßnahmen wie einen integrierten Auto-Rezeptgenerator für schnelle, zuverlässige Rezepte und erweiterte Parametereinstellung. Es ist auch in der Lage, Prozessüberwachung für eine Vielzahl von Prozessparametern, einschließlich Temperatur, Durchfluss, Druck und Gesamtgasstrom. ALPHA 303 I wurde entwickelt, um einen extrem schnellen und präzisen thermischen Zyklus mit einer kurzen Erholungszeit zwischen den Läufen zu ermöglichen. Mit seiner hochpräzisen Temperaturregelung bietet das TOKYO ELECTRON ALPHA-303I Modell eine hervorragende Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit. TEL Alpha 303i verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, einschließlich einer wassergekühlten Vakuumpumpe, die in der Lage ist, Prozessgas oder Luft schnell aus der Prozesskammer zu evakuieren. Dies sorgt für maximale Sicherheit im Betrieb. TEL ALPHA-303 I-Geräte verfügen auch über ein Backup-Gasversorgungssystem, um sicherzustellen, dass die Prozesskammer immer ausreichend mit dem richtigen Prozessgas versorgt wird. ALPHA-303 I ist ein zuverlässiger und vielseitiger Diffusionsofen & Zubehör, der hervorragende Leistung und Wiederholbarkeit für fortschrittliche Halbleiterprozesse bietet. Seine Reihe von Sicherheitsmerkmalen in Verbindung mit seinen fortschrittlichen Temperaturkontrollmaßnahmen machen es zu einer leistungsfähigen und sicheren Lösung für eine Vielzahl von Prozessanforderungen.
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