Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9099381 zu verkaufen

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
Verkauft
ID: 9099381
Vertical diffusion furnace, 12" Process: TEOS (1) Heater element Model: Mid-Temp VMM-56-002 5zone/500-1000 Process Condition: LP Maximum Operating Temperature: 1000°C N2 Load Lock: Yes Wafer Type: 300 SEMI STD-Notch Qty. of Production Wafers: 117 slots Ladder Boat Operation: (2) Boat Type / (2) Boat Operation Software Version: 2.06 Furnace: (1) Loading Area Light: White (LED) Force Air Cooling system: None Side Maintenance: None (1) O2 Density control: NGK SH-304 STANDARD (1) N2 Boat shower wafer cooling: installed (1) Furnace Temperature Controller: M560A Wafer/Carrier Handling: Carrier Type: FOUP (25) slots (STD) Carrier Stage Capacity: 16 (1) WTU Type: 1+4 Edge Grip WTU alignment: None WTU Teaching method: None Gas Distribution: IGS Maker / Type: AREA IGS MFC Maker / Type: AREA (Gas Panel) IGS Press Transducer Maker / Type: NAGANO Exhaust: Vacuum Gage - 2 torr: None (1) Vacuum Gage - 10 torr: MYKROLIS CMLH-31-150S06 Vacuum Gage - 100 torr- None (2) Vacuum Gage - 1000 torr: MYKROLIS CMLH-11-150S06 (1) Main Valve: MKS-99C1274 (1) Pump Maker/Model: EDWARDS IH-1800 Low vacuum valve: None (1) Trap: Disk Trap (1) Vacuum Pressure Controller: N2-ballast Reactor: (2) Process Tube (LP): Outer: ID448xH1360, Inner: Straight H1340 (2) Outer/Inner Tube Material (LP): Quartz Inner Tube Type (AP): None (1) Inner T/C: Outer Tube interior wall type (2) Boat Material/Type: Quartz 117 slots Ladder (8mm pitch) (1) Boat Rotation: installed (1) Pedestal Materiel/Type: Quartz Sand blast OD300 H350 1fins (1) Auto Shutter: installed Power Distribution: Voltage, 3 Phase: 208VAC Voltage, Single Phase: 120VAC Frequency: 60Hz User Interface: (2) Operation Panel: Front/rear Gas Box and Operation Panel Installed (2) Indicator Type: Superset Operation software type: Linux (4) Gas Leak Detector Material/Type: Riken TEOS/CLF3 Dry pumps: not included.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein führender Diffusionsofen und Zubehör für fortschrittliche Halbleiterprozesse. TEL ALPHA-303I ist ein vielseitiger Hochgeschwindigkeits-Diffusionsofen von hoher Qualität, der zuverlässige Leistung, einstellbare Temperaturregelung und eine breite Palette von Funktionen für maximale Prozesswiederholbarkeit bietet. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I ist ein Einkammer-Ofen mit einer Quarzseitenwand und einer heißen Zonenkapazität von 455L. Dieser Diffusionsofen verfügt über eine geringe Wärmestrahlungsheizung, die zu schnellen Temperaturänderungen in der Lage ist. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I ist außerdem mit einem Drei-Zonen-Backsystem zur optimalen Regelung der Temperaturgleichförmigkeit innerhalb der Prozesskammer ausgestattet. Alpha 303i beinhaltet auch eine vertikale Probenladeeinheit, die den automatischen Transfer der Waferboote in die Prozesskammer ermöglicht. Das Waferboot kann automatisch auf zwei verschiedene Temperaturen angehoben werden, um den Kühlprozess zu optimieren. Zusätzlich kann die Temperatur der Prozesskammer entsprechend den Erfordernissen des Verfahrens voreingestellt werden. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I Maschine ist mit einem umfangreichen Sortiment an Zubehör ausgestattet, darunter ein geschlossenes Kühlwerkzeug. Diese Funktion hilft, die gewünschte Temperatur in der Prozesskammer zu halten, indem Sensoren verwendet werden, um die Temperatur des Prozessgases zu messen und zu steuern. TOKYO ELECTRON Alpha 303i verfügt auch über eine Reihe von Prozesskontrollmaßnahmen wie einen integrierten Auto-Rezeptgenerator für schnelle, zuverlässige Rezepte und erweiterte Parametereinstellung. Es ist auch in der Lage, Prozessüberwachung für eine Vielzahl von Prozessparametern, einschließlich Temperatur, Durchfluss, Druck und Gesamtgasstrom. ALPHA 303 I wurde entwickelt, um einen extrem schnellen und präzisen thermischen Zyklus mit einer kurzen Erholungszeit zwischen den Läufen zu ermöglichen. Mit seiner hochpräzisen Temperaturregelung bietet das TOKYO ELECTRON ALPHA-303I Modell eine hervorragende Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit. TEL Alpha 303i verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, einschließlich einer wassergekühlten Vakuumpumpe, die in der Lage ist, Prozessgas oder Luft schnell aus der Prozesskammer zu evakuieren. Dies sorgt für maximale Sicherheit im Betrieb. TEL ALPHA-303 I-Geräte verfügen auch über ein Backup-Gasversorgungssystem, um sicherzustellen, dass die Prozesskammer immer ausreichend mit dem richtigen Prozessgas versorgt wird. ALPHA-303 I ist ein zuverlässiger und vielseitiger Diffusionsofen & Zubehör, der hervorragende Leistung und Wiederholbarkeit für fortschrittliche Halbleiterprozesse bietet. Seine Reihe von Sicherheitsmerkmalen in Verbindung mit seinen fortschrittlichen Temperaturkontrollmaßnahmen machen es zu einer leistungsfähigen und sicheren Lösung für eine Vielzahl von Prozessanforderungen.
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