Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9068394 zu verkaufen

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC
Verkauft
ID: 9068394
Wafergröße: 8"
R-Poly Diffusion Furnace, 8" Non-SMIF.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SC ist ein Diffusionsofen und begleitendes Zubehör für die Verarbeitung von Wafern mit hohem Durchsatz. Dieses Modell verfügt über ein Kammervolumen von 80 Litern und eine maximale Temperatur von 1250 ° C. Der Ofen bietet erstklassige Leistung und bietet Wafer-Gleichmäßigkeit durch stabile und präzise Temperaturregelung, schnelle Temperaturrückgewinnung und schnelle Heizraten. Der Ofen verfügt über einen integrierten Prozessmonitor, der die Prozessüberwachung erleichtert und auch die Umweltbedingungen aufrechterhält. Darüber hinaus verfügt es über eine programmierbare Steuerung, die mit einer Fernbedienungsfunktion ausgestattet ist, damit Benutzer den Prozess von entfernten Standorten aus steuern können. Der Controller verfügt auch über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche und eine Vielzahl von Peripheriegeräten können angeschlossen werden, um individuelle Verarbeitungsanforderungen zu erleichtern. TEL Alpha 808SC verfügt auch über eine erweiterte Control Equipment Architecture (CSA), die ein effizientes, integriertes Steuerungssystem bietet. Dieses Gerät verfügt über einen Simulationssteuermodus, der es Anwendern ermöglicht, ihren Prozess von überall auf der Welt aus zu steuern. Die Maschine kann auch mehrere Rezepte, asynchrone Rezepte verwalten und in Echtzeit zwischen Prozessparametern wechseln. Der Diffusionsofen ist für eine einfache Installation und Wartung konzipiert und wird mit einem automatischen Reinigungswerkzeug geliefert, um die Wartungszeit zu reduzieren. Die Anlage ist auch mit einer integrierten Ladestation ausgestattet, um das Be- und Entladen von Substraten zu erleichtern. TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC hat eine CFK (Carbon Fibre Reinforced Polymer) Kammerschale, die dafür sorgt, dass die Kammer auch bei hohen Temperaturen ihre Form beibehält. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC ist mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen konzipiert, die Prozesssicherheit und -sicherheit gewährleisten. Das Modell verfügt über eine automatisierte Kühleinrichtung, um das Risiko potenzieller Gefahren zu reduzieren und bietet eine Reihe von Prozessschutzsystemen, um die Prozessintegrität zu gewährleisten. Zusätzlich ist TEL ALPHA 808 SC anpassbar. Mit optionalem Zubehör kann das System für spezielle Verarbeitungsanforderungen aufgerüstet werden. Dieses Zubehör umfasst zusätzliche Lastschlösser, Quarzgehäuse, QCM-Sensoren und Quarzwaferträger/Vakuumquellen. Das Gerät kann auch in andere TEL-Systeme integriert werden, um den Kunden eine komplette Wafer-Prozesslösung zu bieten.
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