Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 858SC #9034384 zu verkaufen

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 858SC
Verkauft
ID: 9034384
Wafergröße: 8"
LPCVD nitride furnace, 8" 150 wf.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 858SC ist ein Diffusionsofen und Zubehör für den Einsatz in der Umwelt. Mit überlegener Temperatur und Gleichmäßigkeit ist TEL Alpha 858SC in der Lage, verschiedene Materialien für Dünnschichtabscheidung, Photomasken und andere Oberflächenanwendungen zu verarbeiten. Es ist mit einem speziellen Reinigungssystem ausgestattet, das einen ununterbrochenen Betrieb und sauberere Ergebnisse ermöglicht. Darüber hinaus hat es durch seine hohe Präzision und Genauigkeit bei der Verarbeitung verschiedener Materialien bemerkenswert überlegen, eine feine und stabile Schichtdicke zu erzielen. TOKYO ELECTRON Alpha 858SC verwendet einen Festkörpersensor, um die Temperatur bis zu 1200 ° C zu überwachen. Unter Verwendung einer Niederstrom-Plasmaquelle und einer Bodeninvert-Heizung ist das Gerät so konzipiert, dass es ein sehr gleichmäßiges Temperaturprofil liefert. Die Bodenumkehr des Ofens gewährleistet die Gleichmäßigkeit der Temperatur, indem der Plasmastrom von den Ofenwänden weggeleitet wird. Für eine einfache Bedienung verfügt Alpha 858SC über einen Touchscreen-Monitor und einen Controller mit bedienerfreundlicher Software. Es umfasst verschiedene Funktionen wie Zeit-Temperatur-Kurven, automatische Reinigungen, Vakuum- und Gassteuerung, Last-Lock-Management und Prozess-Protokollierung. Der Ofen kann einfach an verschiedene Vakuumsysteme (CAB, PEAK und Pfeiffer), Vakuummessgeräte, Massenspektrometer, Heliumlecksucher, Partikeldetektoren und andere Diagnosesysteme angeschlossen werden. Eine integrierte Sicherheitsmaschine ist integriert, um maximale Sicherheit während des Betriebs zu gewährleisten. Erweiterte Service, Kalibrierung und Validierung Service gewährleistet die Sicherheit des Personals die ganze Zeit. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 858SC Diffusionsofensysteme sind für langfristige und konsistente Leistung konzipiert und liefern überlegene Temperatur und Gleichmäßigkeit in einer Vielzahl von industriellen Anwendungen. Durch seine präzise konstruierte und solide Konstruktion ist es in der Lage, hohe Temperaturgleichmäßigkeit, gleichmäßige Schichtdicke und längere Lebensdauer als andere Diffusionsöfen zu erreichen.
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