Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #119701 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 119701
Weinlese: 1997
Vertical diffusion furnace
Currently Configured for Nitride with 8" Notched Wafers
1+5 Wafer Type
Integrated Open Cassette Loaders
Load Lock System: Yes
TS-4000 System Controller
Temp. Controller Model M-121
Unit 1660 MFC Controller
TEL Model VMM-40-101 Heater
Boat Rotation – Inspection needed
Signal Tower (Red, Amber, Green)
Gas Detector: No
Quartz Parts: Outer/Inner Tube, Boat, Pedestal, Fin, Manifold, Shutter, and Cap Covers, One Injector and T/C Port Cover
Gas System
N2
NH3
SiH2CI2
N2O
1997 vintage
As-is, where-is.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Diffusionsofen und Zubehör für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Dieses hochentwickelte Gerät ist in der Lage, sowohl eine schnelle Erwärmung als auch eine schnelle Kühlung zu gewährleisten und gleichzeitig die höchsten Standards an Genauigkeit und Präzision bei Abscheide- und Ätzprozessen zu erfüllen. TEL ALPHA-8S ist mit einem Sockel auf Graphitbasis aufgebaut und verfügt über eine eingebaute Kühleinrichtung und eine Luftblaseinrichtung zur Temperaturregelung bei Hochtemperaturprozessen. Es enthält auch eine proprietäre TEL-entwickelte Quick-Heating Induktionsspule, die eine schnelle Heizrate von 500 ° C/Sekunde bietet, was die Notwendigkeit von separaten Heizelementen überflüssig macht. Ein zusätzliches Stickstoff-Gas-Reinigungssystem bietet eine zusätzliche Schicht Prozesssicherheit, indem Sauerstoff für präzise reaktive Prozesse entfernt wird. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S enthält auch eine Vielzahl von anpassbaren Optionen, um spezifischen Benutzeranforderungen gerecht zu werden. Dazu gehören ein Waferhalter, der auf unterschiedliche Größen und Formen einstellbar ist, sowie ein hocheffizientes Plasmaüberwachungs- und Steuergerät. ALPHA-8S umfasst auch eine Reihe von Temperatursensoren und eine intelligente Software, um eine genaue Temperaturregelung zu gewährleisten. Es ist auch in der Lage, verschiedene Gasströme zu verwalten, um eine genaue Steuerung des Ätzprozesses zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S ist eine ideale Wahl für präzise und hochtemperaturabhängige Prozesse wie fortschrittliche Halbleitertechnologien, einschließlich FD-SOI, FinFET, 3D-NAND, Speicher und Display-Film-Anwendungen. Es wird auch ausgiebig bei der Herstellung von Flachbildschirmen, dünnen Filmen und MEMS-Geräten verwendet. So bietet TEL ALPHA 8 S unschlagbare Genauigkeit und Zuverlässigkeit in einer Vielzahl von Fertigungsanwendungen. Insgesamt ist TEL Alpha 8S Diffusionsofen und Zubehör eine leistungsstarke, zuverlässige und anpassbare Lösung für präzise und hochtemperaturabhängige Abscheide- und Ätzprozesse. Mit seinem fortschrittlichen Design, der eingebauten Kühlmaschine und den anpassbaren Optionen ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S eine leistungsstarke und vielseitige Ausrüstung für eine breite Palette von Halbleiter- und verwandten Anwendungen.
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