Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #155754 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 155754
Furnace, 8"
Process: Poly
Safety specification: TEL Standard
System paint color: Biege white
System power rating:
AC200V, 3P / AC100V, 1P
Loading configuration:
(4) Loaders / (127) Wafer slots
Process pressure (Torr): Low pressure
Process temperature: 600º C
FTP Heater: Installed
Rapid cooling unit: Installed
Heater type: VOS-40-017
Process gases:
Process gas MFC 1,2,3,4: N2
Process gas MFC 5, 6: SiH4
Process gas MFC 7, 8, 9: PH3
Gas system:
Filter: MOTT Pou-20S-SV2, Ni
Air valve: FUJIKIN: Diaphragm type
Mega-mini and block
MFC: STEC SEC-74 Series
Check valve: FUJIKIN O-Ring seal type
Hand valve: FUJIKIN: Diaphragm type
Regulator: VERIFLO SQ Series
Pressure transducer: NAGANO ZT 17
Others:
Joint: Gasket type: Pure nickel type
Piping material: SUS316L Up tube
Piping working method: Welding
Welding methods: Automatic welding
Gas exhaust system:
Dry pump: EBARA A150W-T
Main valve: MKS 172-1080P
Vacuum gauge: MKS Baratron sensor normal type
Joint:
Gasket
JIS Method
Piping material: SUS316BA, stainless steel
APC: MKS 253B-3-80-2, butterfly valve
VG1: 0 to 10 Torr, Normal type
VG2: 0 to 1000 Torr, Normal type
VG3: ULVAC GP-2A, Pirani gauge
Manifold:
Structure:
Sealing method: End point sealing
Material: SUS316L Stainless steel
Port:
Gas port: 3/8" Ultra torr
Inner T/C port: 20DAI Ultra torr
Exhaust port: 3 DIA
Cooling method: Water cooling
Safety Interlock:
Gas flow low MFC:
Too low gas flow
Alarm: > 5%
Abort: ± 10%
Gas flow high MFC:
Too high gas flow
Alarm: > 5%
Abort: ± 10%
Low PCW flow:
No PCW supply
Alarm: > 3min
Abort: > 5min
Heater break down: > 7min
PCW Leak detection: Alarm
Process heater over temperature:
Chamber over heat
Heater break down: > 3 sec
Furnace area over temperature: Alarm
Heater break down: > 3 sec
SCR Area over temperature: Alarm
Heater break down: > 3 sec
Interruption of electric power: Alarm
Abort: < 3 sec
Heater break down: > 3 sec
Gas flow sequence: Alarm
Pump off: Alarm
Pump trouble: Alarm
Pressure low (reactor tube pressure): Alarm
Pressure high (reactor tube pressure): Alarm
Leak check (reactor tube pressure):
Main valve off delay: 10 min
Abort: > 20mTorr
Currently warehoused
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein Diffusionsofen zur Optimierung und Verfeinerung von Halbleiterprozessen durch innovative Heiz-, Extraktions- und Wärmebehandlungen von Halbleiterscheiben. Eine fortschrittliche thermische Kontrollausrüstung ermöglicht eine hochpräzise Temperaturregelung des gesamten Prozesses und liefert konsistente Ergebnisse. TEL ALPHA-8S bietet eine Funktion für Tieftemperaturscannen und „Power Save“, die sicher und zuverlässig optimale Lötverbindungsverfahren und Barrierefilmbeschichtungsprozesse ermöglicht. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ist mit einem leistungsstarken Abgasabsaugsystem ausgestattet, das für eine emissionsfreie Verarbeitung konfiguriert werden kann. Es verfügt über zwei elektro-thermische Heizungen mit einer maximalen Temperatur von 1920 ° C, die den Benutzer mit einer effizienten und sicheren Möglichkeit ausstatten, Proben in wiederholbarer Weise zu glühen und wärmebehandeln, mit konsistenten Ergebnissen. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S ist weiter mit kontinuierlichem AUTO PECVD ausgestattet, mit Plenum-Gasmischern, die eine schnelle und einfache Wartung der Einheit ermöglichen. TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist eine vollautomatische Maschine, die sowohl intuitiv als auch benutzerfreundlich ist. Sein robustes Design umfasst Funktionen wie verbesserte Programmierbarkeit, leistungsstarke Hardwaresteuerung und benutzerdefinierte Alarm- und Programmablaufeinstellungen. Das Tool ist auch skalierbar, so dass Benutzer Komponenten hinzufügen und Upgrade-Funktionen im Laufe der Zeit. TEL Alpha 8S ist zudem mit mehreren Zubehörteilen ausgestattet, die für ein sicheres und problemloses Erlebnis sorgen. Zu diesen Zubehörteilen gehören eine fortschrittliche Filteranlage, die eine mögliche Kontamination verhindert. Die Vakuumdichtung ermöglicht effiziente, wiederholbare Prozesse und ein Hochleistungs-Thermobruch-Stoker-Modell sorgt für Gleichmäßigkeit in der Probe. Schließlich ermöglicht ein optionaler PC-Control-Modus Benutzern den einfachen Zugriff und die Verwaltung von Daten und Programmeinstellungen. ALPHA 8 S ist ein hochwirksamer und effizienter Diffusionsofen, der mit fortschrittlichen Funktionen und Zubehör ausgestattet ist, um einen optimal effizienten Halbleiterprozess zu gewährleisten. Das innovative Design und die Eigenschaften machen diese Lösung ideal für eine Reihe komplexer und hochpräziser Wärmebehandlungs-, Glüh- und Beschichtungsprozesse.
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