benutzt TEL / TOKYO ELECTRON ALPHA 8S zu verkaufen

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ID#: 62757 Hersteller: TEL / TOKYO ELECTRON Modell: ALPHA 8S Kategorie: DIFFUSION FURNACES & ACCESSORIES Jahrgang: 1997 Wafer Größe: 8" Ausstattungsmerkmale: Diffusion doped poly furnaces, 8" LPCVD Phosphorus Doped Poly process configuration 150 production wafer load size TS4000Z system controller 440 V power requirement Boat rotation Tape heater and associated control Remote gas detection Exhaust monitors Tylan General throttle control Ulvac GP-2ARY vacuum monitor Gas System UHP N2 2x N2 10%Ph3/He SiH4 ClF3 1997 vintage.
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