Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #9275714 zu verkaufen

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ID: 9275714
Weinlese: 2003
Furnace, parts system With bubbler gas box Instrument panel 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E ist eine vertikale Batch-Thermoverarbeitungsanlage für Einzelwafer- und Multi-Wafer-Anwendungen. Es verfügt über ein Komponententemperaturüberwachungssystem und eine geschlossene Temperatur- und Drucksteuereinheit. Die Maschine wurde entwickelt, um erhöhte Temperaturgleichförmigkeit und Präzision zu liefern. Sein Design bietet zudem einen weiten Temperaturbereich und eine präzise Temperaturregelung und eignet sich somit für eine Reihe von Early- bis Late-Stage-Halbleiterprozessen. TEL Alpha 8SE-E ist ein Einzel-Wafer-Diffusionsofen mit mehreren Chargen, der sowohl Diffusions- als auch Verunreinigungsglühprozesse ermöglicht. Sein Temperaturbereich liegt zwischen 200 ° C und 1050 ° C und ist somit ideal für eine Vielzahl von Prozessen wie Diffusion, Oxidation, Nitrierung, Nitridierung und Glühen. Der Ofen hat eine ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit von ± 1 ° C oder besser, was eine gleichmäßige Dotierung und thermische Behandlung von Wafern ermöglicht. Der Ofen verfügt über einen eingebauten Oberlader und ein Gasströmungswerkzeug, mit dem der Benutzer den Gasstrom der Arbeitsatmosphäre steuern kann. Es besteht aus niedrigem thermischen Masse, chemisch inerten Material, ermöglicht eine schnelle thermische Verarbeitung von Wafern. Es verfügt auch über mehrere Hubmotoren, sowie einen Bodenlader, zum einfachen Be- und Entladen des Ofens. Die Wafer werden auf einem Waferboat geladen und auf einem sechseckigen Halter ausgerichtet. Die Anlage ist mit TSS (Thermocouple Sensor Model) ausgestattet, das die Temperatur der Wafer mit maximaler Genauigkeit misst. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E verfügt auch über eine PID (Proportional Integral Derivative) Steuereinrichtung für eine genaue Druck- und Temperaturregelung auch im Hochtemperaturbetrieb. Dies erhöht die Vielseitigkeit und Genauigkeit der Prozesse. Zur Sicherheit ist das System mit einem Hochtemperaturalarm ausgestattet. Seine Außenseite ist mit Sicherheitsmerkmalen wie einem passcode-verriegelten Temperaturregler sowie einem zugänglichen Not-Aus-Schalter ausgestattet. Alpha 8SE-E ist ein vielseitiger und präziser Diffusionsofen, der Anwendern eine erhöhte Temperaturgleichmäßigkeit, Präzision und Kontrolle bietet. Mit seinen vielfältigen Fähigkeiten ist es für eine Vielzahl von Halbleiterprozessen und Anwendungen gut geeignet.
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