Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #115121 zu verkaufen

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ID: 115121
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Vertical Anneal Furnace, 8" Model: A8SE-ZAR Process : LT Forming Gas (H2 Anneal - Reflow -Beol) Standalone Furnace with Tunnel Layout and Non Shared Gas Cabinet 2 Loader Ports NON-SMIF Low Temp Heating Element 5 Zone Heater Type : VMM-40-104 Waves Controller AERA MFC's N2 Loadlocks No Boat Rotation Wafer Capacity - 170 Total, 150 for Production run 208VAC 50/60hz 3 Phase Wiring 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z ist ein Diffusionsofen, der hauptsächlich zur Erstellung und Manipulation von Festkörperbauelementen verwendet wird. Mit diesem speziell entwickelten Ofen werden Materialien wie Halbleiter bei hoher Temperatur und hohem Druck verarbeitet und gesteuert. TEL ALPHA 8SEZ hat einen Temperaturbereich von bis zu 2000 ° C und einen Druckbereich von bis zu 10 Torr. Der Aufbau dieses Diffusionsofens weist ein Proben-/Wafer-Spannfutter aus Edelstahl, Molybdän und Siliziumcarbid auf, die alle für ihre thermische Stabilität bekannten Materialien sind und eine präzise Temperaturregelung ermöglichen. Dieses Modell Diffusionsofen enthält auch Spezialzubehör, wie eine spezielle Kühlausrüstung, die die Temperatur des Ofens mit Präzision reduzieren kann. Der Ofen selbst ist in der Lage, sich schnell und genau an verschiedene Verfahren anzupassen, wodurch er die Parameter für Wärmebehandlungen präzise profilieren kann. Mit einem PID-Temperaturregler wird die Temperatur ständig überwacht und gehalten. Es ist möglich, das Temperaturprofil für bis zu zwei Prozesse in mehreren Segmenten einschließlich Rampe und Einweichen zu programmieren, was wiederholbare und präzise thermische Prozesse ermöglicht. TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z enthält auch ein aktives Kassettenliftsystem, mit dem Proben/Wafer schnell und bequem be- und entladen werden können. Seine Konstruktion ermöglicht auch eine gleichmäßige Substratoberflächentemperatur, die für genaue und präzise Wärmebehandlungen in der Halbleiterindustrie unerlässlich ist. Der Ofen verwendet einen direkt angetriebenen, selbstgekühlten Motor, der in der Lage ist, die Stromversorgung des Suszeptors ununterbrochen und präzise zu steuern. Auch Alpha 8SE-Z ist durch sein Design extrem sicher. Es gibt ein automatisiertes Sicherheitsschloss an den Türen, während Filtersysteme dafür sorgen, dass keine gefährlichen Gase wie Fluor und Chlor emittiert werden. Der Ofen verfügt außerdem über einen intelligenten Programmmonitor, bei dem die Gerätebedingungen aktiv überwacht werden, um eventuelle Probleme während des Betriebs zu erkennen. Zusätzlich kann jeder Generator von seinem eigenen Panel aus gesteuert werden, was eine schnelle und effiziente Maschinenanpassung ermöglicht. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE Z ist ein hochmoderner Diffusionsofen, der ein hohes Maß an Genauigkeit und Zuverlässigkeit für die Verarbeitung und Kontrolle von Materialien bietet. Der Temperaturbereich, der Druckbereich und die Sicherheitsmerkmale machen es zu einem idealen Werkzeug für ein breites Anwendungsspektrum in der Halbleiterindustrie.
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