Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZVS #190711 zu verkaufen

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZVS
Verkauft
ID: 190711
Weinlese: 2000
LPCVD Furnace Process: SiH4 / Ph3 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZVS ist ein hochmoderner Diffusionsofen und Zubehör speziell für fortgeschrittene Halbleiteranwendungen. Das Gerät kombiniert effizienten Betrieb mit überlegener Technologie zur Verarbeitung hochintegrierter Low-K-Dielektrikumfolien. Mit seiner patentierten ZVS-Technologie kann TEL Alpha 8SE ZVS hohe Temperaturgleichmäßigkeit und ultimative Produktqualität liefern. Das System verfügt außerdem über einen patentierten Lastverriegelungsmechanismus, der höhere Produktionsausbeuten und einen sicheren Betrieb ermöglicht. TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVS ist mit einem Hochtemperatursplitter Doortm sowie einer verstellbaren Oberheizung zur maximalen Kontrolle der Substrattransportrichtung und des Heizprozesses ausgestattet. Auf diese Weise wird eine hohe Temperaturgleichförmigkeit bei der Verarbeitung hochintegrierter Low-K-Dielektrikumfolien erreicht. Der Ofen enthält auch eine vertikale Kühlbandeinheit, um eine gleichmäßige und schnelle Kühlung der Prozesskammer zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt der Ofen über einen integrierten Sicherheitsverschluss, der eine Bestrahlung von Substraten verhindert. Die Maschine ist mit einer Reihe von voreingestellten Prozessrezepten kompatibel und kann mit einer Vielzahl von Quellgasen wie Stickstoff, APCVD/Plasma, Sauerstoff, H2O usw. verwendet werden. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVS umfasst auch eine fortschrittliche Prozesssteuereinheit, die es Anwendern ermöglicht, die Parameter der Verarbeitungsumgebung einfach zu überwachen und zu steuern. Das Werkzeug ist auch mit einer Vielzahl von Präzisionssensoren kompatibel, um eine genaue Kontrolle der Bearbeitungsatmosphäre zu gewährleisten. Neben TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZVS stehen eine große Auswahl an optionalem Zubehör für eine Vielzahl von Prozessen wie Drahtbonden, MEMS und andere erweiterte Halbleiteranwendungen zur Verfügung. Dazu gehören ein Air Management Asset zur präzisen, automatischen Steuerung der Prozessatmosphäre, ein Source Substrate Oszillationsarm zur genauen Positionierung des Quellsubstrats sowie ein Gasversorgungsmodell zur sicheren Handhabung aller im Diffusionsprozess benötigten Gase. ALPHA 8SE-ZVS ist eine sehr zuverlässige Ausrüstung, die zuverlässig und reproduzierbar in jeder kontinuierlichen oder Batch-Verarbeitungsumgebung arbeitet. Seine fortschrittlichen Technologien bieten hohe Temperaturgleichmäßigkeit und Prozesskontrolle, was letztlich zu einem überlegenen Endprodukt führt. Mit seiner erschwinglichen Preisklasse, umfassenden Einrichtungen und Sicherheitsmerkmalen ist TEL ALPHA 8SE-ZVS eine ideale Wahl für fortgeschrittene Halbleiteranwendungen.
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