Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #144024 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 144024
TiN Furnace, 8"
System configuration:
(Qty.)System Hand LL
System Paint Color White
Furnace Front Surface Finish Painted
Process Pressure 500 mTorr
Process Temperature ( C ) 800C
FTP Heater Installed
Rapid Cooling Unit Installed
Heater Type FTP VOS-40-017 (RT)-1000C
N2 Purge System Installed
02 Densimeter Model NGK SH-302
SMIF Not Installed
SMIF POD (maker/model) N/A
SMIF OEM Probe (maker/model) N/A
AGV Compatibility Not Installed
Process Gasses
Process Gas 1 Pure N2
Process Gas 2 NH3
Process Gas 3 H2
Process Gas 4 ClF3
Process Gas 5 TiCl4
Gas Distribution System
Basic Style Integrated Gas System Rail Type (Fujikin)
Tubing Material Stainless Steel
Tubing Finish Electro-polish
Manual Valve FUJIKIN
Air-Operated Valve FUJIKIN
Filter Millipore
Regulator Veriflo
MFC STEC SEC-7350 (Analog)
Press. Transducer Veriflo
Press. Transducer Display Reference Compound
External Torch Unit N/A
Baking System - Burn Out Unit Not Installed
Vaporizer N/A
Liquid Source Auto-Refill N/A
Auto-Refill Provided By N/A
Auto-Refill Tubing Interconnect By N/A
Auto-Refill Power Provided By N/A
Gas System Schem. Dwg/Parts List 2109-323548-13
Panel Heater for Furnace Opening N/A
Vacuum System:
Vacuum Pressure Controller CKD-VEC
Trap Not Installed
Pump-FNC Vac Tubing Provided By Customer
Manifold Heater Not Installed
Water/Cassette Handling
Wafer Type 200mm SEMI STD - Notched
Wafer Notch/Flat Aligner Installed
Cassette Type
Cassette-Number of Wafers 25
Cassette Storage Qty. 21
Monitor Cassette Operation
Cassette In-Out Sequence
Transfer-stage Protrusion Sensor Installed
Fork Type/Material 1+4
For-Wafer Presence Sensor Installed
Fork-Wafer Position Sensor or Guide Not Installed
Fork-Variable Pitch Installed
Boat/Pedestal
Boat Rotation Installed
Cap Heater Installed
System Controls
System Controller WAVES
Remote MMI and Gas Flowchart Not Installed
Signal Tower/Colors Red/Yellow/Green
Signal Tower Location(s)) FNC Front
General Pressure Display Units PSI
Cabinet Exhaust Display Units Pa
Temperature Control
Furnace Temperature Controller M-560A
Gas Leak Detection
Gas Detection Provided By TEL
Gas Detection System Maker Riken
Gas 1 Detected/Point H2 U/Box
Gas 2 Detected/Point NH3 U/Box
Gas 3 Detected/Point ClF3 U/Box
Customer I/F Ctrl. Handshakes
Other Options and Specials Not Installed
Bar Code Reader (maker/model Not Installed
Other Options and Specials
Bar Code Reader (maker/model Not Installed
Chemical Pre-filter Not Installed
Rapid Ionizer (maker/model) Not Installed
Equipment Layout & Facilities
Furnace Exhaust Connection Point Top Connection
Cooling Water Connection Point Bottom Connection
Incoming Gas Connection Point Top Connection
Gas Unit Exh. Connection Point Top Connection
Facility Elect. - Equip. Per Input
Voltage 3phase 480V
Voltage1phase 120V
Ctrl Pwr UPS make/model No UPS
UPS Input Voltage/Output Voltage N/A
Step Down Transformer (Outside) 480V In 100V/200V Out
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein Diffusionsofen und Zubehör zur präzisen thermischen Behandlung von Halbleitersubstraten. Es wird insbesondere für Source/Drain-Entwicklung und Glühzweck verwendet. Der Ofen wird mit TEL fortschrittlichen linearen Hocheffizienz-Heizprozess gemacht, so dass eine präzise Temperaturregelung mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Temperaturantwort. TEL ALPHA-8SE Diffusionsofen ist mit einem hochwertigen Mehrkanal-Transportsystem ausgestattet und verfügt über eine große Kapazität zum Beladen mehrerer Substrate. Die Prozesskammer ist sowohl zur Standardatmosphäre als auch zur Vakuumverarbeitung sowie zur Atmosphärensteuerung über einen optionalen In-situ-Gasinjektor geeignet. Der hohe Temperaturbereich von TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE ermöglicht eine breite Palette von Prozessanforderungen und das Dual-Zone-Design ermöglicht eine präzise Regelung der Temperatur- und Atmosphärenoptimierung. ALPHA 8 S E kommt auch mit fortschrittlichen digitalen Steuerungssystemen, die präzise und zuverlässige Kontrolle über Prozessparameter, wie Temperaturen, Druck und Not-Aus-Einstellungen. Darüber hinaus ermöglicht Auto-Observe standardmäßig die Überwachung von Prozessparametern und die Anpassung in-situ während des Prozesses, um die Gleichmäßigkeit zu optimieren. Der Prozessmonitor erfasst auch historische Prozessdaten, die für die statistische Prozesssteuerung (SPC) und Analyse verwendet werden können. Darüber hinaus ist TEL Alpha 8SE mit Standard-Sicherheitsfunktionen ausgestattet, sowohl physikalisch als auch elektronisch. Die Sicherheitsverriegelung verhindert das Betreten des Ofens und des Übergabesystems und sorgt für Notstopp bei anormalen Situationen. Weitere Schutzausrüstung umfasst das Luftfiltersystem, das die Prozesskammer vor Druckbeaufschlagung schützt, und die hitzebeständige Gummibeschichtung, die eine Wärmedämmung der Kammertüren ermöglicht. Insgesamt sind TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E Diffusionsofen und Zubehör eine ausgezeichnete Wahl für fortschrittliche thermische Prozesse. Es bietet eine breite Palette von Funktionen, von der grundlegenden Prozessstandardisierung bis zur vollständigen Automatisierung, und gewährleistet Sicherheit und Prozesssicherheit. Die fortschrittliche Deckenlösung trägt zur Verbesserung der Prozessgleichförmigkeit bei, während die digitalen Steuerungssysteme die Datenerfassung und -analyse vereinfachen. All diese Eigenschaften und Vorteile machen TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E ein leistungsstarkes, vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug.
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