Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #144024 zu verkaufen

Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE
Verkauft
ID: 144024
TiN Furnace, 8" System configuration: (Qty.)System Hand LL System Paint Color White Furnace Front Surface Finish Painted Process Pressure 500 mTorr Process Temperature ( C ) 800C FTP Heater Installed Rapid Cooling Unit Installed Heater Type FTP VOS-40-017 (RT)-1000C N2 Purge System Installed 02 Densimeter Model NGK SH-302 SMIF Not Installed SMIF POD (maker/model) N/A SMIF OEM Probe (maker/model) N/A AGV Compatibility Not Installed Process Gasses Process Gas 1 Pure N2 Process Gas 2 NH3 Process Gas 3 H2 Process Gas 4 ClF3 Process Gas 5 TiCl4 Gas Distribution System Basic Style Integrated Gas System Rail Type (Fujikin) Tubing Material Stainless Steel Tubing Finish Electro-polish Manual Valve FUJIKIN Air-Operated Valve FUJIKIN Filter Millipore Regulator Veriflo MFC STEC SEC-7350 (Analog) Press. Transducer Veriflo Press. Transducer Display Reference Compound External Torch Unit N/A Baking System - Burn Out Unit Not Installed Vaporizer N/A Liquid Source Auto-Refill N/A Auto-Refill Provided By N/A Auto-Refill Tubing Interconnect By N/A Auto-Refill Power Provided By N/A Gas System Schem. Dwg/Parts List 2109-323548-13 Panel Heater for Furnace Opening N/A Vacuum System: Vacuum Pressure Controller CKD-VEC Trap Not Installed Pump-FNC Vac Tubing Provided By Customer Manifold Heater Not Installed Water/Cassette Handling Wafer Type 200mm SEMI STD - Notched Wafer Notch/Flat Aligner Installed Cassette Type Cassette-Number of Wafers 25 Cassette Storage Qty. 21 Monitor Cassette Operation Cassette In-Out Sequence Transfer-stage Protrusion Sensor Installed Fork Type/Material 1+4 For-Wafer Presence Sensor Installed Fork-Wafer Position Sensor or Guide Not Installed Fork-Variable Pitch Installed Boat/Pedestal Boat Rotation Installed Cap Heater Installed System Controls System Controller WAVES Remote MMI and Gas Flowchart Not Installed Signal Tower/Colors Red/Yellow/Green Signal Tower Location(s)) FNC Front General Pressure Display Units PSI Cabinet Exhaust Display Units Pa Temperature Control Furnace Temperature Controller M-560A Gas Leak Detection Gas Detection Provided By TEL Gas Detection System Maker Riken Gas 1 Detected/Point H2 U/Box Gas 2 Detected/Point NH3 U/Box Gas 3 Detected/Point ClF3 U/Box Customer I/F Ctrl. Handshakes Other Options and Specials Not Installed Bar Code Reader (maker/model Not Installed Other Options and Specials Bar Code Reader (maker/model Not Installed Chemical Pre-filter Not Installed Rapid Ionizer (maker/model) Not Installed Equipment Layout & Facilities Furnace Exhaust Connection Point Top Connection Cooling Water Connection Point Bottom Connection Incoming Gas Connection Point Top Connection Gas Unit Exh. Connection Point Top Connection Facility Elect. - Equip. Per Input Voltage 3phase 480V Voltage1phase 120V Ctrl Pwr UPS make/model No UPS UPS Input Voltage/Output Voltage N/A Step Down Transformer (Outside) 480V In 100V/200V Out 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein Diffusionsofen und Zubehör zur präzisen thermischen Behandlung von Halbleitersubstraten. Es wird insbesondere für Source/Drain-Entwicklung und Glühzweck verwendet. Der Ofen wird mit TEL fortschrittlichen linearen Hocheffizienz-Heizprozess gemacht, so dass eine präzise Temperaturregelung mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Temperaturantwort. TEL ALPHA-8SE Diffusionsofen ist mit einem hochwertigen Mehrkanal-Transportsystem ausgestattet und verfügt über eine große Kapazität zum Beladen mehrerer Substrate. Die Prozesskammer ist sowohl zur Standardatmosphäre als auch zur Vakuumverarbeitung sowie zur Atmosphärensteuerung über einen optionalen In-situ-Gasinjektor geeignet. Der hohe Temperaturbereich von TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE ermöglicht eine breite Palette von Prozessanforderungen und das Dual-Zone-Design ermöglicht eine präzise Regelung der Temperatur- und Atmosphärenoptimierung. ALPHA 8 S E kommt auch mit fortschrittlichen digitalen Steuerungssystemen, die präzise und zuverlässige Kontrolle über Prozessparameter, wie Temperaturen, Druck und Not-Aus-Einstellungen. Darüber hinaus ermöglicht Auto-Observe standardmäßig die Überwachung von Prozessparametern und die Anpassung in-situ während des Prozesses, um die Gleichmäßigkeit zu optimieren. Der Prozessmonitor erfasst auch historische Prozessdaten, die für die statistische Prozesssteuerung (SPC) und Analyse verwendet werden können. Darüber hinaus ist TEL Alpha 8SE mit Standard-Sicherheitsfunktionen ausgestattet, sowohl physikalisch als auch elektronisch. Die Sicherheitsverriegelung verhindert das Betreten des Ofens und des Übergabesystems und sorgt für Notstopp bei anormalen Situationen. Weitere Schutzausrüstung umfasst das Luftfiltersystem, das die Prozesskammer vor Druckbeaufschlagung schützt, und die hitzebeständige Gummibeschichtung, die eine Wärmedämmung der Kammertüren ermöglicht. Insgesamt sind TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E Diffusionsofen und Zubehör eine ausgezeichnete Wahl für fortschrittliche thermische Prozesse. Es bietet eine breite Palette von Funktionen, von der grundlegenden Prozessstandardisierung bis zur vollständigen Automatisierung, und gewährleistet Sicherheit und Prozesssicherheit. Die fortschrittliche Deckenlösung trägt zur Verbesserung der Prozessgleichförmigkeit bei, während die digitalen Steuerungssysteme die Datenerfassung und -analyse vereinfachen. All diese Eigenschaften und Vorteile machen TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E ein leistungsstarkes, vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug.
Es liegen noch keine Bewertungen vor