Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #62753 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ist ein fortschrittliches Diffusionsofen und Zubehör Paket entwickelt, um überlegene Fertigungsleistung zu liefern. Diese Ausrüstung besteht aus einem Ofenkörper, einer Balgpumpe für die Vakuumsteuerung, einer Lastverriegelungskammer für die Verarbeitung von Substraten und einer Vielzahl anderer automatisierter Funktionen. TEL ALPHA-8SE ist für fortschrittliche thermische Verarbeitungsanwendungen wie die Herstellung von Halbleitern, MEMS und optoelektronischen Bauelementen konzipiert. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE Ofen verfügt über hohe Temperatur Gleichmäßigkeit und ausgezeichnete Temperaturgenauigkeit, so dass präzise Bearbeitungszeiten und überlegene Kontrolle über Temperaturprofile. Die Temperaturregelung ist durch Verwendung eines Temperaturregelsystems erreichbar, das eine Trenntemperaturregelung und eine Hochlauftemperaturregelung kombiniert. Dies gewährleistet eine hohe Präzision in allen Temperaturbereichen. Der Ofenkörper von TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE besteht aus einer eingebetteten Mehrzonen-Heizmaschine, die die Beheizung von Substraten in verschiedenen Zonen ermöglicht, die in gleichmäßige Kühl- und Heizeinheiten unterteilt sind. Dies führt zu einer gleichmäßigeren Temperaturregelung auch bei Änderung der Substratgröße und -form durch hohe Temperaturdifferenz. Die Innenöfen bestehen aus hochtemperaturbeständigen Edelstahl- und Titanlegierungskomponenten, die eine Langlebigkeit in Hochtemperaturumgebungen gewährleisten. Um eine sichere, einheitliche Prozessumgebung zu gewährleisten, ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE mit einer Reihe von proprietären automatisierten Funktionen wie einem Wärmeleitfähigkeitsmonitor und einer aktiven Schadstoffbekämpfung ausgestattet. Die Wärmeleitfähigkeitsüberwachung sorgt für eine gleichmäßige Substrattemperatur, indem sie die Temperatur der Innen- und Außenwand des Ofenraums bei Bedarf regelt. Das aktive Schadstoffkontrollwerkzeug hält Sauberkeit und geringe Prozesspartikel in der Verarbeitungskammer aufrecht und sorgt für sichere, stabile Prozessbedingungen. Zusätzlich zu diesen automatisierten Funktionen bietet TEL ALPHA 8 SE eine Vielzahl nützlicher Zubehörmöglichkeiten. Solche Gegenstände umfassen Werkzeughandhabungsvorrichtungen und Waferübertragungssysteme, die beide die Handhabung von Substraten optimieren. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE beinhaltet auch eine Partikelanalyse/Filteranlage zum Sammeln und Analysieren von Prozesspartikeln, die es den Betreibern ermöglicht, eine präzise Prozesskontrolle aufrechtzuerhalten. Insgesamt ist ALPHA-8 SE ein hochentwickeltes Diffusionsofen- und Zubehörpaket, das überlegene Fertigungsleistung und effiziente Prozessautomatisierungsfunktionen bietet. Dieses Modell eignet sich sowohl für herkömmliche Halbleiterherstellung als auch für Prozesse zur Herstellung von progressiven Membranen und optoelektronischen Bauelementen.