Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #93399 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 93399
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Nitride LPCVD furnace, 8"
170 wafer slots
Tool Specific Information:
Heater Part No: VMM-40-101
Software Version: Ver3.11 R005 WAVE
System Power Rating: 110AC One Phase / 208 AC
Loading Configuration: 6 Loader
Main System:
WAVES Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
21 Cassette Stocker
Temperature Controller (M560)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility&Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
Auto Shutter
Gas System (NH3, DCS)
Options:
Signal Tower
Pitch Change Mechanism
UPS
GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control:
Quartz ware
Load size 170 wafers
Load lock purge system
Process gas: NH3, DCS
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - FUJIKIN
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - FUJIKIN
Filter - MILLIPORE
Regulator - VERIFLO
MFC - AERA
Pressure transducer - MILLIPORE or NAGANO
Remote Components:
Utility Box Power Rating: 110/208AC
Pump Power Rating: 208AC-3 (Not Included)
UPS Power Rating: 110AC-1
MFCs Summary
MFC_NB (N2) 10sLm
MFC_NR (Pure-N2) 50sccm
MFC_NX (Pure-N2) 20sLm
MFC_NY1 (Pure-N2) 200sccm
MFC_NY2 (Pure-N2) 200sccm
MFC_N1 (Pure-N2) 5sLm
MFC_N2 (Pure-N2) 5sLm
MFC_M1 (NH3) 2sLm
MFC_D1 (SiH2Cl2) 200sccm
MFM_M1 (Pure-N2) 2sLm
MFM_D1 (Pure-N2) 200sccm
Packing List:
Power-Box
UPS
Main-Body
Gas-Box
Heater
O2 Analyzer
Vacuum Exhaust Pipe
Cables
Top Heater Frame
Filter Fan
Gas-Box Door
EXT IN Unit
Gas-Box Exhaust Support
Backend Pipings
Scavenger Flexible Duct
Accessories 2 white boxes + 1 wafer container
N2-LL Pipings Tray
(Qty 3) Cable Trays
Loading Area Cover
Backend Support/ Cover
(Qty 5) Heater Panels
Main-Valve
Crated in a warehouse
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE Diffusionsofen und Zubehör ist ein industrielles Heizgerät und Zubehörpaket, das speziell für Halbleiterlabore entwickelt wurde. Dieser Diffusionsofen und seine Komponenten bieten eine kostengünstige und zuverlässige Lösung für die Verarbeitung von Halbleitern mit höherer Temperatur, einschließlich Dotierstoffentfernung, Glühen und Substratabscheidung. TEL ALPHA-8SE System ist mit einer 8-Zoll-Ladekammer ausgestattet, die eine schnelle und konsistente Vor- und Nachverladung des Ofens ermöglicht. Es wird auch mit einem Quarzware-Träger, Ladegeschirr-Träger und einem Substratlader für maximalen Komfort ausgestattet. Der eingebaute Kühlventilator hilft, eine konsistente Temperatur aufrechtzuerhalten und eine zuverlässige und konsistente Leistung von Prozess zu Prozess zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll verarbeiten und ist damit perfekt für Halbleiterlabore aller Größen geeignet. Die eingebaute aktive Temperaturregelung sorgt für Genauigkeit, Flexibilität und Wiederholbarkeit. Das Gerät verfügt zudem über ein menügesteuertes Softwareprogramm, das die Programmierung vereinfacht und für konsistente Ergebnisse sorgt. TEL ALPHA 8S-E Diffusionsofen und sein Zubehör bestehen aus hochwertigen Materialien, die die Kompatibilität mit einer Vielzahl von Halbleitermaterialien und Abscheideprozessen gewährleisten. Silizium, Galliumarsenid und Diamantschablonen können alle in der Maschine verarbeitet werden. Seine robuste Konstruktion und Konstruktion machen es auch robust und zuverlässig in den härtesten Laborumgebungen. In jedem Halbleiterlabor ist eine gleichbleibende Qualität für zuverlässige Ergebnisse unerlässlich. Mit dem Diffusionsofen TEL Alpha 8SE und seinem Zubehör können Anwender beeindruckende und wiederholbare Ergebnisse erzielen, sowohl hinsichtlich Qualität als auch Durchsatz. Es bietet eine einfache und einfache Lösung, um hohen Anforderungen an die Halbleiterverarbeitung gerecht zu werden.
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