Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #93399 zu verkaufen

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ID: 93399
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Nitride LPCVD furnace, 8" 170 wafer slots Tool Specific Information: Heater Part No: VMM-40-101 Software Version: Ver3.11 R005 WAVE System Power Rating: 110AC One Phase / 208 AC Loading Configuration: 6 Loader Main System: WAVES Controller Photohelic Gauge Boat Elevator Wafer Load Automation 21 Cassette Stocker Temperature Controller (M560) Furnace Monitor, Power Control Unit Remote Utility&Gas Cabinet Inner T/C for Ration Mix Auto Shutter Gas System (NH3, DCS) Options: Signal Tower Pitch Change Mechanism UPS GEM Communication N2 Load Lock Ambient Control: Quartz ware Load size 170 wafers Load lock purge system Process gas: NH3, DCS Gas Type - Convention Gas System Tubing material - Stainless steel Tubing Finish - Electro-polish Manual valve - FUJIKIN Fitting Type - VCR/UJR Air-Operated valve - FUJIKIN Filter - MILLIPORE Regulator - VERIFLO MFC - AERA Pressure transducer - MILLIPORE or NAGANO Remote Components: Utility Box Power Rating: 110/208AC Pump Power Rating: 208AC-3 (Not Included) UPS Power Rating: 110AC-1 MFCs Summary MFC_NB (N2) 10sLm MFC_NR (Pure-N2) 50sccm MFC_NX (Pure-N2) 20sLm MFC_NY1 (Pure-N2) 200sccm MFC_NY2 (Pure-N2) 200sccm MFC_N1 (Pure-N2) 5sLm MFC_N2 (Pure-N2) 5sLm MFC_M1 (NH3) 2sLm MFC_D1 (SiH2Cl2) 200sccm MFM_M1 (Pure-N2) 2sLm MFM_D1 (Pure-N2) 200sccm Packing List: Power-Box UPS Main-Body Gas-Box Heater O2 Analyzer Vacuum Exhaust Pipe Cables Top Heater Frame Filter Fan Gas-Box Door EXT IN Unit Gas-Box Exhaust Support Backend Pipings Scavenger Flexible Duct Accessories 2 white boxes + 1 wafer container N2-LL Pipings Tray (Qty 3) Cable Trays Loading Area Cover Backend Support/ Cover (Qty 5) Heater Panels Main-Valve Crated in a warehouse 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE Diffusionsofen und Zubehör ist ein industrielles Heizgerät und Zubehörpaket, das speziell für Halbleiterlabore entwickelt wurde. Dieser Diffusionsofen und seine Komponenten bieten eine kostengünstige und zuverlässige Lösung für die Verarbeitung von Halbleitern mit höherer Temperatur, einschließlich Dotierstoffentfernung, Glühen und Substratabscheidung. TEL ALPHA-8SE System ist mit einer 8-Zoll-Ladekammer ausgestattet, die eine schnelle und konsistente Vor- und Nachverladung des Ofens ermöglicht. Es wird auch mit einem Quarzware-Träger, Ladegeschirr-Träger und einem Substratlader für maximalen Komfort ausgestattet. Der eingebaute Kühlventilator hilft, eine konsistente Temperatur aufrechtzuerhalten und eine zuverlässige und konsistente Leistung von Prozess zu Prozess zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll verarbeiten und ist damit perfekt für Halbleiterlabore aller Größen geeignet. Die eingebaute aktive Temperaturregelung sorgt für Genauigkeit, Flexibilität und Wiederholbarkeit. Das Gerät verfügt zudem über ein menügesteuertes Softwareprogramm, das die Programmierung vereinfacht und für konsistente Ergebnisse sorgt. TEL ALPHA 8S-E Diffusionsofen und sein Zubehör bestehen aus hochwertigen Materialien, die die Kompatibilität mit einer Vielzahl von Halbleitermaterialien und Abscheideprozessen gewährleisten. Silizium, Galliumarsenid und Diamantschablonen können alle in der Maschine verarbeitet werden. Seine robuste Konstruktion und Konstruktion machen es auch robust und zuverlässig in den härtesten Laborumgebungen. In jedem Halbleiterlabor ist eine gleichbleibende Qualität für zuverlässige Ergebnisse unerlässlich. Mit dem Diffusionsofen TEL Alpha 8SE und seinem Zubehör können Anwender beeindruckende und wiederholbare Ergebnisse erzielen, sowohl hinsichtlich Qualität als auch Durchsatz. Es bietet eine einfache und einfache Lösung, um hohen Anforderungen an die Halbleiterverarbeitung gerecht zu werden.
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