Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9090494 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON FORMULA ist ein Ätzer/Ascher, der zum Ätzen von Halbleiterscheiben im Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist ein physikalischer Dampfabscheider (PVD), der reaktives Ionenätzen (RIE) verwendet, um Material von einem Zielsubstrat zu entfernen. Es ist in der Lage, hohe Seitenverhältnismerkmale mit einem sehr engen Bereich von Profilen zu ätzen. Typischerweise wird es verwendet, um Funktionen wie Gräben, vertiefte Kontaktvias und andere Funktionen, die bei der Herstellung von MEMS und 3D integrierten Schaltungen nützlich sind, zu ätzen. TEL Formula etcher verwendet eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP), um die für das Ätzen notwendige reaktive Spezies zu erzeugen. Die ICP-Quelle ist Teil einer fortschrittlichen Klasse-IIC-Reinraumausrüstung, die mit einem Dreifach- Gas™-Reaktor und einem Hochleistungs-Vakuumsystem ausgestattet ist. Dies ermöglicht die Reinigung und Ätzung von Oberflächen bis hin zu extrem niedrigen Verunreinigungen ohne Verschmutzung von Oberflächen. TOKYO ELECTRON Formula Etcher verwendet hochfrequente HF-Leistung, um ein gleichmäßiges Plasma in der Plasmaprozesskammer zu erzeugen. Dieses Plasma wird dann zur Aufrechterhaltung eines hohen Ionenflusses verwendet und auf das Substrat gerichtet. Dies ermöglicht hohe Ionenausbeuten für das Ätzen auch sehr dünner Merkmale mit sehr geringen Merkmalsgrößen und Seitenverhältnissen. Formelätzer ist auch mit zwei zusätzlichen Quellen von Ätzarten ausgestattet. Dazu gehören Argon und Sauerstoff ICP Quellen. Argon ICP wird verwendet, um über Löcher und Grabenöffnungen von weniger als 70 µm sowie Löcher in symmetrischen Streifenlinien und Ausrichtungsschichten zu ätzen. Sauerstoff ICP ermöglicht durch seinen reaktiven Ionenätzprozess das Ätzen von konformen Strukturen mit sehr niedrigen Seitenverhältnissen. In Sachen Prozesssteuerung bietet TEL/TOKYO ELECTRON Formula etcher eine Reihe von Optionen. Dazu gehört eine anspruchsvolle Steuereinheit mit eingebettetem Rechner, Hochgeschwindigkeitsdatenschreiber und Wärmeüberwachungsmaschine. Das Softwarepaket umfasst eine breite Palette von voreingestellten und benutzerdefinierten Ätzrezepten für verschiedene Anwendungen. TEL Formula ist ein fortschrittlicher Ätzer, der Mikrostrukturen mit hohen Seitenverhältnissen und Reproduzierbarkeit ätzen kann. Die integrierten Komponenten ermöglichen eine sehr hohe Präzisionsätzung einer Vielzahl von Anwendungen, während Kontaminationen von Oberflächen während des Ätzprozesses vermieden werden. Dies macht es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Geräteherstellungsprozessen.